| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 引言 | 第9-12页 |
| 1 射频耦合等离子体及调谐基片自偏压特性 | 第12-20页 |
| 1．1 射频等离子体 | 第12-13页 |
| 1．1．1 射频等离子体自偏压 | 第12-13页 |
| 1．2 射频感应耦合等离子体中调谐基片自偏压特性研究 | 第13-20页 |
| 1．2．1 调谐基片自偏压的跳变、双稳、回滞 | 第14-17页 |
| 1．2．2 基片自偏压的自振荡 | 第17-20页 |
| 2 实验装置及诊断系统 | 第20-31页 |
| 2．1 实验装置 | 第20-21页 |
| 2．2 实验装置改进和诊断系统建立 | 第21-31页 |
| 2．2．1 对射频功率源的改进 | 第21-22页 |
| 2．2．2 匹配网络对射频感性耦合等离子体容性耦合的影响 | 第22-24页 |
| 2．2．3 射频Langmuir探针 | 第24-29页 |
| 2．2．4 容性探针 | 第29-31页 |
| 3 实验结果 | 第31-55页 |
| 3．1 串联阻抗对跳变的影响 | 第31-34页 |
| 3．2 基片台轴向位置对基片调谐基片自偏压跳变双稳的影响 | 第34-37页 |
| 3．3 不同的放电天线对跳变、回滞、振荡的影响 | 第37-41页 |
| 3．4 高功率、高气压下基片调谐基片自偏压的跳变特性 | 第41-45页 |
| 3．5 等离子体参量的空间分布 | 第45-51页 |
| 3．6 线圈上的射频电压分布及电压值随功率气压的变化 | 第51-55页 |
| 4 实验结果分析 | 第55-62页 |
| 4．1 实验结果模型 | 第55-57页 |
| 4．2 实验结果分析 | 第57-62页 |
| 5 结论 | 第62-64页 |
| 5．1 论文总结 | 第62-63页 |
| 5．2 对今后工作的建议 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
