2×2光波导开关的理论研究与工艺制备
第一章 绪论 | 第1-16页 |
·引论 | 第8页 |
·光开关在全光网络中的作用 | 第8-9页 |
·光开关研究新进展 | 第9-15页 |
·机械式光开关 | 第9-11页 |
·波导型光开关 | 第11-13页 |
·液晶光开关 | 第13页 |
·其他光开关 | 第13-15页 |
·本论文的工作与意义 | 第15-16页 |
第二章 光在介质中传播的理论分析 | 第16-32页 |
·介质平面波导分析 | 第16-23页 |
·概述 | 第16-19页 |
·对称渐变折射率波导 | 第19-20页 |
·非对称渐变折射率波导分析 | 第20-23页 |
·条形波导分析 | 第23-26页 |
·概述 | 第23-26页 |
·Ti:LiNbO_3波导的折射率分布 | 第26页 |
·有效折射率法 | 第26-28页 |
·单模条形波导的设计 | 第28-31页 |
·本章小结 | 第31-32页 |
第三章 光开关的原理分析 | 第32-41页 |
·电光效应原理 | 第32-33页 |
·铌酸锂晶体的线性电光效应 | 第33-35页 |
·不同方向外电场所引起的电光效应 | 第35-37页 |
·电场沿z轴方向 | 第35-36页 |
·电场沿y轴方向 | 第36-37页 |
·电场沿x方向 | 第37页 |
·2×2 光波导开关工作原理 | 第37-40页 |
·光波导开关的基本工作情况 | 第38页 |
·光波导开关的性能指标 | 第38-40页 |
·本章小结 | 第40-41页 |
第四章 2×2 光开关电极的设计 | 第41-51页 |
·光波导耦合理论 | 第41-46页 |
·耦合长度的计算 | 第41-45页 |
·△ β对功率耦合的影响 | 第45-46页 |
·电极的设计 | 第46-50页 |
·单电极结构 | 第46-47页 |
·反向交替△ β型电极结构 | 第47-49页 |
·电极讨论 | 第49-50页 |
·本章小结 | 第50-51页 |
第五章 2×2 方向耦合器型光波导开关的制备工艺 | 第51-59页 |
·光刻工艺 | 第52-54页 |
·溅射和扩散 | 第54-57页 |
·电极制备 | 第57-58页 |
·本章小结 | 第58-59页 |
第六章 2×2 光开关的参数测试 | 第59-70页 |
·2×2 光开关芯片的制作结果 | 第59-61页 |
·2×2 光开关芯片的性能估算与参数测试 | 第61-65页 |
·参数估算 | 第61-63页 |
·通光测试结果 | 第63-65页 |
·2×2 光开关芯片的封装工艺的讨论研究 | 第65-67页 |
·本章小结 | 第67-70页 |
参考文献 | 第70-74页 |
发表论文和科研情况说明 | 第74-75页 |
致谢 | 第75页 |