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2×2光波导开关的理论研究与工艺制备

第一章 绪论第1-16页
   ·引论第8页
   ·光开关在全光网络中的作用第8-9页
   ·光开关研究新进展第9-15页
     ·机械式光开关第9-11页
     ·波导型光开关第11-13页
     ·液晶光开关第13页
     ·其他光开关第13-15页
   ·本论文的工作与意义第15-16页
第二章 光在介质中传播的理论分析第16-32页
   ·介质平面波导分析第16-23页
     ·概述第16-19页
     ·对称渐变折射率波导第19-20页
     ·非对称渐变折射率波导分析第20-23页
   ·条形波导分析第23-26页
     ·概述第23-26页
     ·Ti:LiNbO_3波导的折射率分布第26页
   ·有效折射率法第26-28页
   ·单模条形波导的设计第28-31页
   ·本章小结第31-32页
第三章 光开关的原理分析第32-41页
   ·电光效应原理第32-33页
   ·铌酸锂晶体的线性电光效应第33-35页
   ·不同方向外电场所引起的电光效应第35-37页
     ·电场沿z轴方向第35-36页
     ·电场沿y轴方向第36-37页
     ·电场沿x方向第37页
   ·2×2 光波导开关工作原理第37-40页
     ·光波导开关的基本工作情况第38页
     ·光波导开关的性能指标第38-40页
   ·本章小结第40-41页
第四章 2×2 光开关电极的设计第41-51页
   ·光波导耦合理论第41-46页
     ·耦合长度的计算第41-45页
     ·△ β对功率耦合的影响第45-46页
   ·电极的设计第46-50页
     ·单电极结构第46-47页
     ·反向交替△ β型电极结构第47-49页
     ·电极讨论第49-50页
   ·本章小结第50-51页
第五章 2×2 方向耦合器型光波导开关的制备工艺第51-59页
   ·光刻工艺第52-54页
   ·溅射和扩散第54-57页
   ·电极制备第57-58页
   ·本章小结第58-59页
第六章 2×2 光开关的参数测试第59-70页
   ·2×2 光开关芯片的制作结果第59-61页
   ·2×2 光开关芯片的性能估算与参数测试第61-65页
     ·参数估算第61-63页
     ·通光测试结果第63-65页
   ·2×2 光开关芯片的封装工艺的讨论研究第65-67页
   ·本章小结第67-70页
参考文献第70-74页
发表论文和科研情况说明第74-75页
致谢第75页

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