| 摘要 | 第1-9页 |
| 1 绪论 | 第9-14页 |
| ·无定形碳 | 第9-10页 |
| ·金刚石和类金刚石薄膜的性质和应用 | 第10-11页 |
| ·合成类金刚石薄膜的实验研究 | 第11页 |
| ·无氢类金刚石薄膜的研究进展 | 第11-12页 |
| ·本文的研究目的 | 第12-14页 |
| 2 计算机模拟方法和原子间相互作用势 | 第14-31页 |
| ·引言 | 第14-17页 |
| ·计算机模拟方法简介 | 第17-19页 |
| ·两体碰撞近似(BCA)模拟 | 第19页 |
| ·分子动力学(MD)模拟 | 第19-27页 |
| ·分子动力学模拟原理 | 第20-21页 |
| ·数值积分算法 | 第21-22页 |
| ·边界条件 | 第22-23页 |
| ·时间步长(△t)的选取 | 第23-24页 |
| ·正则系综分子动力学方法 | 第24-25页 |
| ·一些物理量的计算 | 第25-26页 |
| ·计算程序介绍 | 第26-27页 |
| ·原子间作用势 | 第27-31页 |
| ·Tersoff势 | 第28页 |
| ·Brenner势 | 第28-30页 |
| ·ZBL势 | 第30-31页 |
| 3 小团簇沉积在金刚石表面的结构特性 | 第31-44页 |
| ·引言 | 第31页 |
| ·计算模型 | 第31-34页 |
| ·单个C_(10)环在金刚石表面的沉积 | 第34-37页 |
| ·C_(10)在金刚石表面吸附阈能 | 第35页 |
| ·C_(10)在金刚石表面吸附结构的动力学过程 | 第35-36页 |
| ·入射能量对C_(10)在金刚石表面吸附结构的影响 | 第36-37页 |
| ·单个C_2分子在金刚石表面的沉积 | 第37-40页 |
| ·入射能量对C_2在金刚石表面吸附结构的影响 | 第37-39页 |
| ·C_2在金刚石表面沉积的动力学过程 | 第39-40页 |
| ·C_(10)-膜和C-2-膜的合成 | 第40-43页 |
| ·C_(10)-膜和C_2-膜结构的比较分析 | 第40-41页 |
| ·入射能量和衬底温度对薄膜的影响 | 第41-43页 |
| ·小结 | 第43-44页 |
| 4 离子束辅助沉积DLC膜的分子动力学模拟研究 | 第44-60页 |
| ·引言 | 第44-45页 |
| ·计算模型 | 第45页 |
| ·Ar辅助沉积对C_2膜结构的影响 | 第45-52页 |
| ·Ar辅助沉积到达比对结构的影响 | 第46-49页 |
| ·Ar辅助沉积存在最适宜能量 | 第49-51页 |
| ·薄膜附着力增强的定量分析 | 第51-52页 |
| ·分子动力学的级联区分子模型 | 第52-56页 |
| ·级联区内瞬间高温对薄膜性质影响 | 第52-54页 |
| ·级联区内碳原子的迁移 | 第54-56页 |
| ·Ar轰击对薄膜的瞬间影响分析 | 第56-59页 |
| ·Ar轰击衬底产生的瞬间高温 | 第56-57页 |
| ·Ar的轰击引起碳原子迁移 | 第57-59页 |
| ·小结 | 第59-60页 |
| 5 总结 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-68页 |
| 发表论文目录 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |