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计算机控制小工具研抛的去除特性及工艺研究

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-7页
第一章 绪论第7-16页
 §1.1 课题来源及意义第7-9页
  §1.1.1 课题的来源第7页
  §1.1.2 课题研究的背景和意义第7-9页
 §1.2 非球面零件的特点及加工方法第9-10页
  §1.2.1 非球面的特点及用途第9页
  §1.2.2 非球面镜的加工方法第9-10页
 §1.3 计算机控制光学表面成形技术第10-12页
 §1.4 国内外发展概况第12-14页
 §1.5 论文的主要研究内容第14-16页
第二章 抛光机理研究第16-22页
 §2.1 抛光机理学说第16-19页
 §2.2 SiC的抛光机理第19-21页
  §2.2.1 SiC的加工特点第19页
  §2.2.2 SiC的抛光过程第19-21页
  §2.2.3 SiC的抛光机理第21页
 §2.3 本章小结第21-22页
第三章 去除函数建模和试验第22-36页
 §3.1 双转子研抛机构第23-24页
 §3.2 双转子研抛模去除函数模型的建立第24-29页
  §3.2.1 理论基础第24-26页
  §3.2.2 去除函数建模第26-28页
  §3.2.3 常数K的确定方法第28-29页
 §3.3 去除函数实验建模第29-33页
  §3.3.1 抛光试验第29页
  §3.3.2 检测装置第29-30页
  §3.3.3 结果分析第30-32页
  §3.3.4 比例系数K的确定第32-33页
 §3.4 去除函数稳定性研究第33-35页
  §3.4.1 抛光时间对去除特性的影响第33-34页
  §3.4.2 抛光盘倾斜一定角度对去除函数的影响第34-35页
 §3.5 本章小结第35-36页
第四章 参数优化及去除效率研究第36-43页
 §4.1 双转子研抛模去除函数参数优化第36-39页
 §4.2 双转子研抛模去除效率的研究第39-42页
  §4.2.1 偏心率e和转速比n对去除效率的影响第39-41页
  §4.2.2 抛光模参数对去除效率的影响第41-42页
  §4.2.3 其它参数对去除效率的影响第42页
 §4.3 本章小结第42-43页
第五章 边缘效应第43-49页
 §5.1 抛光模露边时压力的分布第43-46页
 §5.2 边缘效应的控制第46-48页
 §5.3 本章小结第48-49页
第六章 抛光工艺研究第49-59页
 §6.1 抛光粉、抛光模的选择及抛光液的配制第49-50页
  §6.1.1 抛光粉的选择第49页
  §6.1.2 抛光模的选择第49-50页
  §6.1.3 抛光液的配制第50页
 §6.2 CCOS软件介绍第50-52页
 §6.3 工件的上盘方法第52-53页
 §6.4 抛光工艺研究第53-58页
  §6.4.1 压力、速度和抛光液浓度的影响第53-55页
  §6.4.2 抛光盘尺寸对表面误差的影响第55-56页
  §6.4.3 波浪形误差的产生及其控制第56-57页
  §6.4.4 抛光路径的选择第57页
  §6.4.5 误差收敛的控制第57-58页
 §6.5 本章小结第58-59页
第七章 全文总结与展望第59-62页
 §7.1 全文总结第59-60页
 §7.2 展望第60-62页
致谢第62-63页
参考文献第63-66页

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