| 中文摘要 | 第1-7页 |
| 英文摘要 | 第7-10页 |
| 目录 | 第10-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-35页 |
| 1．1 MEMS概述 | 第13-17页 |
| 1．2 形状记忆合金的发展历史及其应用研究进程 | 第17-19页 |
| 1．3 形状记忆合金的国内外应用研究现状 | 第19-26页 |
| 1．4 本文的研究意义及主要研究内容 | 第26-35页 |
| 第二章 形状记忆合金薄膜执行器驱动特性及运动学研究 | 第35-61页 |
| 2．1 引言 | 第35页 |
| 2．2 SMA执行器的驱动原理研究 | 第35-39页 |
| 2．3 SMA执行器的驱动特性研究 | 第39-41页 |
| 2．4 SMA薄膜微夹持器变力夹持原理及结构设计 | 第41-43页 |
| 2．5 单元互联SMA微执行器运动控制基础研究 | 第43-59页 |
| 2．5．1 轴向伸缩单元串联SMA执行器的运动学研究 | 第44-52页 |
| 2．5．2 双向弯曲单元串联SMA执行器的运动学研究 | 第52-59页 |
| 2．6 本章小结 | 第59-61页 |
| 第三章 冷轧法制备SMA薄膜工艺及其互联执行器研究 | 第61-83页 |
| 3．1 冷轧法制备SMA薄膜的工艺研究 | 第62-65页 |
| 3．2 基于SMA薄膜单元互联的二维微执行机构研究 | 第65-81页 |
| 3．2．1 二维微执行机构的工作原理研究 | 第65-68页 |
| 3．2．2 二维微执行机构的运动学研究 | 第68-74页 |
| 3．2．3 SMA驱动旋转关节及其微手爪的运动学建模和结构设计 | 第74-78页 |
| 3．2．4 SMA单元互联二维微执行机构的实验研究 | 第78-81页 |
| 3．3 本章小结 | 第81-83页 |
| 第四章 溅射法制备SMA薄膜工艺研究 | 第83-100页 |
| 4．1 溅射法制备TiNi形状记忆薄膜的工艺研究 | 第83-86页 |
| 4．2 TiNi溅射薄膜表面的微观形貌研究 | 第86-87页 |
| 4．3 TiNi溅射薄膜表面质量差异的工艺因素分析 | 第87-89页 |
| 4．4 溅射法制备硅基TiNi形状记忆薄膜的工艺研究 | 第89-93页 |
| 4．4．1 单晶硅衬底准备 | 第89-90页 |
| 4．4．2 磁控溅射法制备硅基TiNi薄膜 | 第90-93页 |
| 4．5 真空退火前TiNi／Si界面的研究 | 第93-97页 |
| 4．5．1 真空退火前的TiNi／Si界面反应 | 第93-94页 |
| 4．5．2 TiNi与Si界面上的元素互扩散研究 | 第94-96页 |
| 4．5．3 讨论 | 第96-97页 |
| 4．6 本章小结 | 第97-100页 |
| 第五章 SMA薄膜驱动硅基微夹持器研究 | 第100-123页 |
| 5．1 硅基TiNi薄膜结构释放工艺研究 | 第100-105页 |
| 5．1．1 硅各向异性腐蚀的特征 | 第100-102页 |
| 5．1．2 硅基TiNi薄膜结构释放试验 | 第102-105页 |
| 5．2 硅基TiNi薄膜图形化工艺研究 | 第105-112页 |
| 5．2．1 光刻工艺简介 | 第105-106页 |
| 5．2．2 利用负胶掩膜腐蚀技术进行TiNi薄膜图形化研究 | 第106-107页 |
| 5．2．3 利用剥离工艺进行TiNi薄膜图形化的研究 | 第107-108页 |
| 5．2．4 Si基TiNi薄膜在HF/HNO_3/H_2O中的腐蚀特性研究 | 第108-110页 |
| 5．2．5 用金属作腐蚀掩膜进行TiNi薄膜图形化的研究 | 第110-112页 |
| 5．3 硅基TiNi薄膜微夹持器结构设计及工作原理研究 | 第112-115页 |
| 5．4 硅基TiNi薄膜微夹持器制造工艺研究 | 第115-120页 |
| 5．5 封装后的TiNi薄膜驱动硅微夹持器及其性能指标 | 第120页 |
| 5．6 本章小结 | 第120-123页 |
| 第六章 TiNi形状记忆薄膜驱动硅微夹持器实验及应用研究 | 第123-136页 |
| 6．1 微夹持器工作端开合量测试实验研究 | 第123-127页 |
| 6．2 微夹持力测试及夹持特性实验研究 | 第127-130页 |
| 6．3 驱动过程TiNi形状记忆薄膜的电阻变化 | 第130-132页 |
| 6．4 微夹持器及微操作系统应用研究 | 第132-135页 |
| 6．4．1 本校项目组研制的微操作系统的基本结构 | 第132-133页 |
| 6．4．2 微夹持器在生物医学领域的应用 | 第133-134页 |
| 6．4．3 微夹持器在微装配方面的应用 | 第134页 |
| 6．4．4 微夹持器在微机器人领域的应用 | 第134-135页 |
| 6．5 本章小结 | 第135-136页 |
| 第七章 结束语 | 第136-139页 |
| 创新点摘要 | 第139-140页 |
| 致谢 | 第140-141页 |
| 作者在攻读博士学位期间公开发表的论文及获奖情况 | 第141页 |
