超短激光脉冲交流量热法研究
| 中文摘要 | 第1-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-17页 |
| §1．1 微尺度热传输概述 | 第7-10页 |
| §1．2 微尺度传热学研究现状 | 第10-15页 |
| §1．2．1 微尺度热传导理论进展 | 第10-12页 |
| §1．2．2 实验技术进展 | 第12-14页 |
| §1．2．3 计算机模拟 | 第14-15页 |
| §1．3 本文研究的内容 | 第15-17页 |
| 第二章 超短激光脉冲加热过程中的热传输 | 第17-30页 |
| §2．1 超短激光加热金属过程中的热传输 | 第17-25页 |
| §2．1．1 辐射加热模型 | 第17-22页 |
| §2．1．2 热导率的尺寸效应 | 第22-25页 |
| §2．2 介质薄膜中的热传导 | 第25-30页 |
| §2．2．1 声子散射模型 | 第25页 |
| §2．2．2 声子辐射热传导模型 | 第25-30页 |
| 第三章 交流量热法原理及其实验技术 | 第30-47页 |
| §3．1 薄膜热扩散率测量方法 | 第30-32页 |
| §3．2 交流量热法原理 | 第32-38页 |
| §3．3 热电偶对实验结果的影响 | 第38-41页 |
| §3．4 不同激光加热形状的交流量热法 | 第41-45页 |
| §3．5 交流量热法误差分析 | 第45-47页 |
| 第四章 交流量热法的实现 | 第47-66页 |
| §4．1 实验装置和样品的制备 | 第47-54页 |
| §4．1．1 实验装置 | 第47-48页 |
| §4．1．2 热源的选取 | 第48页 |
| §4．1．3 微弱信号的处理 | 第48-52页 |
| §4．1．4 样品的制备 | 第52-54页 |
| §4．2 测试结果 | 第54-62页 |
| §4．2．1 二氧化硅测试结果 | 第55-58页 |
| §4．2．2 氮化硅测试结果 | 第58-60页 |
| §4．2．3 多晶硅测试结果 | 第60-62页 |
| §4．3 实验结果分析 | 第62-65页 |
| §4．3．1 实验结论 | 第62页 |
| §4．3．2 结果分析 | 第62-64页 |
| §4．3．3 误差分析 | 第64-65页 |
| §4．4 结论与展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68页 |
