基于MEMS技术的氧气微传感器机理研究与设计
| 第一章 综述 | 第1-17页 |
| §1．1 微机电系统 | 第7-9页 |
| §1．2 气体传感器发展概况 | 第9-14页 |
| §1．3 氧气传感器简介 | 第14-16页 |
| §1．4 本课题的任务 | 第16-17页 |
| 第二章 氧气敏感薄膜 | 第17-32页 |
| §2．1 YSZ | 第17-19页 |
| §2．2 采用溶胶-凝胶法制备氧气敏感薄膜 | 第19-21页 |
| §2．3 氧气传感器的平板电容式模型 | 第21-32页 |
| 第三章 MOS结构氧气微传感器 | 第32-42页 |
| §3．1 MOS结构 | 第32-36页 |
| §3．2 MOS结构氧气微传感器工作原理 | 第36-37页 |
| §3．3 MOS结构氧气微传感器工艺 | 第37-42页 |
| 第四章 MOSFET氧气微传感器 | 第42-62页 |
| §4．1 MOSFET简介 | 第42-44页 |
| §4．2 MOSFET氧气微传感器设计 | 第44-51页 |
| §4．3 加热元件与测温元件的设计 | 第51-54页 |
| §4．4 MOSFET氧气微传感器工艺 | 第54-62页 |
| 第五章 结论与展望 | 第62-64页 |
| §5．1 结论 | 第62-63页 |
| §5．2 展望 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 附录Ⅰ MASK | 第65-67页 |
| 附录Ⅱ 主要符号索引 | 第67-72页 |
| 参考文献 | 第72-78页 |
