| 第一章 AFM成象基本原理 | 第1-17页 |
| §1．1 扫描隧道显微镜 | 第7-8页 |
| §1．1．1 STM的原理 | 第7页 |
| §1．1．2 STM的局限 | 第7-8页 |
| §1．2 原子力显微镜 | 第8-16页 |
| §1．2．1 原子力显微镜的基本原理 | 第8-13页 |
| §1．2．2 原子力显微镜的力传感器 | 第13-14页 |
| §1．2．3 AFM微悬臂弯曲的检测方式 | 第14-15页 |
| §1．2．4 原子力显微镜的主要用途 | 第15-16页 |
| §1．3 扫描探针显微镜的应用前景 | 第16-17页 |
| 第二章 AFM系统结构 | 第17-26页 |
| §2．1 硬件性能简介 | 第17-22页 |
| § 2．1．1 AFM控制系统（HL-1）简介 | 第17-20页 |
| §2．1．2 原子力显微镜的配套光学显微镜设计 | 第20-22页 |
| §2．2 控制软件简介 | 第22-26页 |
| 第三章 图象扫描及分析 | 第26-41页 |
| §3．1 用原子力显微镜观测标准样品 | 第26-30页 |
| §3．2 用原子力显微镜观测GaN膜表面形貌 | 第30-41页 |
| §3．2．1 命题依据 | 第30-32页 |
| §3．2．2 GaN材料的制备 | 第32-33页 |
| §3．2．3 实验中的制备方法 | 第33-34页 |
| §3．2．4 表面形貌的分析和工艺研究 | 第34-41页 |
| 第四章 在线控制与针尖定位系统 | 第41-55页 |
| §4．1 PSTM简介 | 第41-45页 |
| §4．1．1 光子隧道与PSTM 的物理机制 | 第41-42页 |
| §4．1．2 光子扫描隧道显微镜原理 | 第42-43页 |
| §4．1．3 PSTM的主要用途及前景 | 第43-45页 |
| §4．2 PSTM实时控制系统 | 第45-48页 |
| §4．2．1 系统运行环境 | 第45页 |
| §4．2．2 系统软件流程图 | 第45-47页 |
| §4．2．3 各功能块的作用 | 第47-48页 |
| §4．3 PSTM针尖定位系统 | 第48-55页 |
| §4．3．1 流程图 | 第48-49页 |
| §4．3．2 用以实现上述功能的部分代码 | 第49-55页 |
| 第五章 AFM与PSTM的结合 | 第55-61页 |
| §5．1 双功能扫描隧道显微镜原理简介 | 第55-57页 |
| §5．1．1 “AFM／PSTM”氮化硅弹力臂双功能尖 | 第55-56页 |
| §5．1．2 “AFM／PSTM”光纤双功能尖 | 第56-57页 |
| §5．2 精确控制的具有低弹性常数的AFM／PSTM | 第57-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-63页 |