| 1． 引言 | 第1-22页 |
| 1．1 概述 | 第6-7页 |
| 1．2 氧化物镀膜包装材料研究发展过程及现状 | 第7-9页 |
| 1．2．1 氧化物镀膜包装材料的研究与应用 | 第7页 |
| 1．2．2 氧化物镀膜包装材料的生产工艺 | 第7-9页 |
| 1．3 塑料薄膜表面进行氧化物真空镀膜存在的问题 | 第9-16页 |
| 1．3．1 氧化物镀膜的均匀形成 | 第9-11页 |
| 1．3．2 氧化物膜层与基材的附着牢度 | 第11-13页 |
| 1．3．3 氧化物镀膜包装材料阻隔性能的优化 | 第13-16页 |
| 1．4 提高氧化物镀膜质量的基本方法 | 第16-20页 |
| 1．4．1 等离子体技术 | 第16-18页 |
| 1．4．2 引入反应气体 | 第18-19页 |
| 1．4．3 控制蒸镀工艺条件 | 第19-20页 |
| 1．5 本课题研究意义 | 第20-22页 |
| 2． 实验材料与方法 | 第22-26页 |
| 2．1 实验材料 | 第22-23页 |
| 2．1．1 氧化物 | 第22页 |
| 2．1．2 塑料薄膜基材 | 第22页 |
| 2．1．3 其他材料和药品 | 第22-23页 |
| 2．2 仪器设备 | 第23页 |
| 2．3 实验方法 | 第23-25页 |
| 2．3．1 基材预处理 | 第23页 |
| 2．3．2 表面张力的测量实验 | 第23-24页 |
| 2．3．3 膜层附着牢度评价 | 第24页 |
| 2．3．4 薄膜厚度测量 | 第24页 |
| 2．3．5 透氧率的测量 | 第24-25页 |
| 2．3．6 透湿率的测量 | 第25页 |
| 2．3．7 SiOx膜层分析 | 第25页 |
| 2．4 实验路线 | 第25-26页 |
| 3． 结果与讨论 | 第26-52页 |
| 3．1 影响氧化物膜层与基材附着牢度的因素 | 第26-34页 |
| 3．1．1 基材特性对附着牢度的影响 | 第26-28页 |
| 3．1．2 基材表面等离子体处理对附着牢度的影响 | 第28-31页 |
| 3．1．3 等离子体强化对附着牢度的影响 | 第31-33页 |
| 3．1．4 蒸镀功率对膜层附着牢度的影响 | 第33-34页 |
| 3．2 影响氧化物镀膜包装材料阻隔性能的因素 | 第34-52页 |
| 3．2．1 SiOx膜层厚度对阻隔性能的影响 | 第34-39页 |
| 3．2．3 基材表面等离子体处理对阻隔性能的影响 | 第39-43页 |
| 3．2．4 SiOx膜层的物理化学结构对阻隔性能的影响 | 第43-47页 |
| 3．2．5 蒸镀功率对阻隔性能的影响 | 第47-49页 |
| 3．2．6 其它因素对阻隔性能的影响 | 第49-52页 |
| 3．2．6．1 单成份蒸镀 | 第49页 |
| 3．2．6．2 混合蒸镀 | 第49-50页 |
| 3．2．6．3 复合蒸镀 | 第50-52页 |
| 4． 结论 | 第52-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-58页 |