| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-29页 |
| 前言 | 第10-11页 |
| ·太阳能电池的发展历程 | 第11-12页 |
| ·CIS 太阳能电池的发展历史和研究现状 | 第12-13页 |
| ·国外CIS 太阳能电池的发展历史和现状 | 第12-13页 |
| ·国内CIS 太阳能电池的发展历史和现状 | 第13页 |
| ·太阳能电池的原理 | 第13-16页 |
| ·CIS 类太阳能电池的结构 | 第16页 |
| ·铜铟硒（CIS）材料的性质和制备工艺 | 第16-22页 |
| ·铜铟硒（CIS）材料的性质 | 第16-20页 |
| ·铜铟硒（CIS）类薄膜的制备工艺 | 第20-22页 |
| ·ZnS 材料的性质和制备工艺 | 第22-28页 |
| ·ZnS 在CIS 类薄膜太阳能电池中的应用 | 第22-23页 |
| ·ZnS 材料的性质 | 第23页 |
| ·ZnS 材料的性质和制备工艺 | 第23-28页 |
| ·论文选题 | 第28-29页 |
| 第二章 实验过程 | 第29-40页 |
| ·实验设备 | 第29-30页 |
| ·DMX-220A 型真空镀膜机 | 第29-30页 |
| ·空心阴极离子镀膜机 | 第30页 |
| ·电热恒温水浴锅 | 第30页 |
| ·检测设备 | 第30-32页 |
| ·工装的制作与设备应用 | 第32-35页 |
| ·真空室支架的设计与改装 | 第32-33页 |
| ·加热源材料的选择与设计 | 第33-34页 |
| ·硒化装置的设计 | 第34-35页 |
| ·实验过程 | 第35-40页 |
| ·多层膜方法制备Cu-In 合金层 | 第35-37页 |
| ·硒化和退火过程 | 第37页 |
| ·ZnS 薄膜样品的制备 | 第37-40页 |
| 第三章 测试结果与分析 | 第40-62页 |
| ·CIS 薄膜的测试结果与分析 | 第40-47页 |
| ·合金层的制备分析 | 第40-41页 |
| ·形貌观察与微观结构分析 | 第41-44页 |
| ·各元素的比例与晶粒大小的关系 | 第44-45页 |
| ·电性能分析 | 第45-46页 |
| ·光学性能分析 | 第46-47页 |
| 本章小结 | 第47页 |
| ·CIAS 薄膜的制备和检测分析 | 第47-53页 |
| ·SEM 形貌观察与分析 | 第48-50页 |
| ·微观结构分析 | 第50-51页 |
| ·电性能分析 | 第51-52页 |
| 本章小结 | 第52-53页 |
| ·ZnS 薄膜的制备及检测分析 | 第53-62页 |
| ·ZnSO_4 浓度及衬底对ZnS 薄膜厚度的影响 | 第53页 |
| ·电学性能分析 | 第53页 |
| ·透过率检测结果与分析 | 第53-58页 |
| ·XRD 检测结果与分析 | 第58页 |
| ·SEM 表面形貌检测结果与分析 | 第58-60页 |
| ·能谱检测结果与分析 | 第60页 |
| 本章小结 | 第60-62页 |
| 结论 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 附录：攻读硕士期间发表的论文 | 第68-69页 |