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长位型低频冷等离子体实验与模拟研究

摘要第1-7页
Abstract第7-12页
第一章 绪论第12-22页
   ·长位型等离子体简介第13-16页
   ·微等离子体简介第16-20页
   ·本论文的主要工作第20-22页
第二章 低气压低频长位型冷等离子体实验研究第22-49页
   ·实验方法第22-34页
   ·长位型等离子体探针诊断研究第34-41页
   ·长位型等离子体光谱诊断第41-43页
   ·类二氧化硅薄膜沉积研究第43-48页
   ·本章小结第48-49页
第三章 低气压低频长位型冷等离子体数值模拟第49-64页
   ·模拟方法介绍第49-55页
   ·模拟结果第55-63页
   ·本章小结第63-64页
第四章 大气压可弯曲结构微射流冷等离子体第64-89页
   ·大气压微射流冷等离子体简介第64-70页
   ·大气压可弯曲结构微射流冷等离子体实验研究第70-88页
   ·本章小结第88-89页
第五章 大气压长位型射流冷等离子体第89-109页
   ·研究背景介绍第89-92页
   ·大气压长位型射流冷等离子体实验研究第92-97页
   ·长位型射流等离子体应用于表面改性研究第97-108页
   ·本章小结第108-109页
第六章 总结与展望第109-111页
   ·本论文内容总结第109-110页
   ·前景展望第110-111页
参考文献第111-115页
致谢第115-116页
已发表的学术论文第116页

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