长位型低频冷等离子体实验与模拟研究
摘要 | 第1-7页 |
Abstract | 第7-12页 |
第一章 绪论 | 第12-22页 |
·长位型等离子体简介 | 第13-16页 |
·微等离子体简介 | 第16-20页 |
·本论文的主要工作 | 第20-22页 |
第二章 低气压低频长位型冷等离子体实验研究 | 第22-49页 |
·实验方法 | 第22-34页 |
·长位型等离子体探针诊断研究 | 第34-41页 |
·长位型等离子体光谱诊断 | 第41-43页 |
·类二氧化硅薄膜沉积研究 | 第43-48页 |
·本章小结 | 第48-49页 |
第三章 低气压低频长位型冷等离子体数值模拟 | 第49-64页 |
·模拟方法介绍 | 第49-55页 |
·模拟结果 | 第55-63页 |
·本章小结 | 第63-64页 |
第四章 大气压可弯曲结构微射流冷等离子体 | 第64-89页 |
·大气压微射流冷等离子体简介 | 第64-70页 |
·大气压可弯曲结构微射流冷等离子体实验研究 | 第70-88页 |
·本章小结 | 第88-89页 |
第五章 大气压长位型射流冷等离子体 | 第89-109页 |
·研究背景介绍 | 第89-92页 |
·大气压长位型射流冷等离子体实验研究 | 第92-97页 |
·长位型射流等离子体应用于表面改性研究 | 第97-108页 |
·本章小结 | 第108-109页 |
第六章 总结与展望 | 第109-111页 |
·本论文内容总结 | 第109-110页 |
·前景展望 | 第110-111页 |
参考文献 | 第111-115页 |
致谢 | 第115-116页 |
已发表的学术论文 | 第116页 |