长位型低频冷等离子体实验与模拟研究

摘要	第1-7页
Abstract	第7-12页
第一章 绪论	第12-22页
·长位型等离子体简介	第13-16页
·微等离子体简介	第16-20页
·本论文的主要工作	第20-22页
第二章 低气压低频长位型冷等离子体实验研究	第22-49页
·实验方法	第22-34页
·长位型等离子体探针诊断研究	第34-41页
·长位型等离子体光谱诊断	第41-43页
·类二氧化硅薄膜沉积研究	第43-48页
·本章小结	第48-49页
第三章 低气压低频长位型冷等离子体数值模拟	第49-64页
·模拟方法介绍	第49-55页
·模拟结果	第55-63页
·本章小结	第63-64页
第四章 大气压可弯曲结构微射流冷等离子体	第64-89页
·大气压微射流冷等离子体简介	第64-70页
·大气压可弯曲结构微射流冷等离子体实验研究	第70-88页
·本章小结	第88-89页
第五章 大气压长位型射流冷等离子体	第89-109页
·研究背景介绍	第89-92页
·大气压长位型射流冷等离子体实验研究	第92-97页
·长位型射流等离子体应用于表面改性研究	第97-108页
·本章小结	第108-109页
第六章 总结与展望	第109-111页
·本论文内容总结	第109-110页
·前景展望	第110-111页
参考文献	第111-115页
致谢	第115-116页
已发表的学术论文	第116页