低气压横向磁场中氢放电的粒子模拟研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
引言	第9页
1 绪论	第9-21页
·等离子体简介	第9-12页
·等离子体的一般性质	第9-12页
·本文的研究背景	第12-17页
·劳逊判据	第12-13页
·等离子体的加热机制	第13-15页
·关于负氢离子源氢放电的理论研究现状	第15-17页
·数值模拟概述	第17-21页
·流体模拟	第17-18页
·粒子模拟	第18-19页
·混合模拟	第19-21页
2 PIC/MCC模拟概述	第21-31页
·模型介绍	第21-22页
·粒子模拟流程	第22-31页
·带电粒子的初始化	第22-23页
·粒子云分布法求解网格处密度	第23页
·泊松方程的求解	第23-24页
·粒子的跟踪	第24-26页
·蒙特卡罗碰撞	第26-31页
3. 横向磁场中氢放电的粒子模拟	第31-46页
·物理模型	第31-32页
·初始条件	第32-33页
·模拟结果及讨论	第33-45页
·电势电场分布	第34-39页
·电子能量的分布对比	第39-41页
·电子密度的演化	第41-44页
·高振动态氢分子的产生率	第44-45页
·本章小结	第45-46页
4 脉冲和射频双电源驱动的放电特性	第46-55页
·模拟结果讨论	第47-55页
·电子密度的演化对比讨论	第48-50页
·电子能量的演化对比讨论	第50-53页
·高振动态氢分子的产生率的对比讨论	第53-55页
结论	第55-56页
对今后工作的建议	第56-57页
参考文献	第57-61页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况	第61-62页
致谢	第62-63页