| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| ·薄膜材料力学性能研究的重要性 | 第9-10页 |
| ·膜/基材料体系界面结合性能的研究现状 | 第10-17页 |
| ·压痕法 | 第10-12页 |
| ·鼓泡法 | 第12-13页 |
| ·划痕法 | 第13-17页 |
| ·本文研究的主要内容和意义 | 第17-18页 |
| 第2章 薄膜材料微/纳米力学测试技术——纳米划痕实验法 | 第18-29页 |
| ·材料微/纳米力学测试技术概况 | 第18-19页 |
| ·纳米压痕硬度与弹性模量测量原理 | 第19-21页 |
| ·对BNT薄膜/SI基底系统的力学性能测试 | 第21-28页 |
| ·实验样品的制备 | 第21页 |
| ·实验仪器 | 第21-22页 |
| ·纳米压痕实验 | 第22-23页 |
| ·纳米划痕实验 | 第23-28页 |
| ·小结 | 第28-29页 |
| 第3章 划痕过程的有限元数值模拟 | 第29-43页 |
| ·ABAQUS软件简介 | 第29-32页 |
| ·划痕过程中的摩擦接触 | 第32-35页 |
| ·摩擦接触 | 第32-33页 |
| ·接触问题的一般描述 | 第33-34页 |
| ·接触界面方程 | 第34页 |
| ·Coulomb摩擦模型 | 第34-35页 |
| ·Mohr-Coulomb本构模型 | 第35页 |
| ·划痕法的有限元模型 | 第35-37页 |
| ·结果与讨论 | 第37-39页 |
| ·不同材料体系下的应力场分布 | 第39-41页 |
| ·小结 | 第41-43页 |
| 第4章 含界面预制裂纹的划痕法模型与计算 | 第43-57页 |
| ·界面断裂力学的发展 | 第43页 |
| ·含界面裂纹问题的表达方式 | 第43-44页 |
| ·线弹性断裂力学 | 第44-47页 |
| ·Griffith裂纹 | 第44-45页 |
| ·能量释放率(Energy release rate) | 第45-47页 |
| ·应力强度因子(Stress intensity factors） | 第47页 |
| ·理论模型的推导 | 第47-51页 |
| ·理论计算 | 第47-50页 |
| ·实验计算结果 | 第50-51页 |
| ·含界面裂纹的有限元模型 | 第51-56页 |
| ·模型的建立 | 第51-52页 |
| ·计算结果 | 第52-56页 |
| ·小结 | 第56-57页 |
| 第5章 总结与展望 | 第57-59页 |
| ·总结 | 第57页 |
| ·展望 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 硕士期间已公开发表的论文 | 第65页 |
