| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-21页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·透明导电薄膜的介绍 | 第9-11页 |
| ·In_2O_3透明导电薄膜 | 第11-13页 |
| ·ZnO透明导电薄膜 | 第13-14页 |
| ·SnO_2透明导电薄膜 | 第14-18页 |
| ·掺锑SnO_2薄膜 | 第16页 |
| ·掺氟SnO_2薄膜 | 第16-17页 |
| ·掺磷SnO_2薄膜 | 第17页 |
| ·其他掺杂 | 第17-18页 |
| ·ATO薄膜的主要应用领域 | 第18-21页 |
| 第2章 ATO透明导电膜的制备方法及研究进展 | 第21-34页 |
| ·ATO透明导电膜的制备方法 | 第21-29页 |
| ·溅射法 | 第21-23页 |
| ·喷涂热分解法 | 第23-25页 |
| ·化学气相沉积法 | 第25-27页 |
| ·真空蒸发法 | 第27-28页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第28-29页 |
| ·选题角度的确定 | 第29-32页 |
| ·论文的意义及主要内容 | 第32-34页 |
| 第3章 实验部分 | 第34-46页 |
| ·实验原料 | 第34页 |
| ·制膜设备 | 第34页 |
| ·玻璃的清洗 | 第34-36页 |
| ·玻璃的干燥 | 第36-40页 |
| ·样品的制备 | 第40-42页 |
| ·TiO_2薄膜的溶胶-凝胶法制备 | 第40-41页 |
| ·ATO薄膜的溶胶-凝胶法制备 | 第41-42页 |
| ·薄膜样品的结构和性能表征方法 | 第42-46页 |
| ·薄膜结构测定 | 第42页 |
| ·薄膜成分测定 | 第42-43页 |
| ·薄膜方块电阻测定 | 第43页 |
| ·薄膜紫外-可见光透过率测定 | 第43页 |
| ·薄膜中红外反射率测定 | 第43-44页 |
| ·薄膜表面形貌测定 | 第44页 |
| ·薄膜折射率及厚度测定 | 第44-46页 |
| 第4章 ATO薄膜的结构和性能表征 | 第46-59页 |
| ·掺杂浓度对ATO薄膜结构和性能的影响 | 第46-54页 |
| ·ATO薄膜的紫外-可见光透过率分析 | 第46-47页 |
| ·ATO薄膜的XRD分析 | 第47-48页 |
| ·ATO薄膜的XPS分析 | 第48-49页 |
| ·ATO薄膜的表面形貌分析 | 第49-51页 |
| ·ATO薄膜的方块电阻分析 | 第51-52页 |
| ·ATO薄膜的光学带隙 | 第52-54页 |
| ·热处理温度对ATO薄膜结构和性能的影响 | 第54-57页 |
| ·热处理温度对ATO薄膜晶相的影响 | 第54-55页 |
| ·热处理温度对ATO薄膜方块电阻的影响 | 第55-56页 |
| ·ATO薄膜的红外反射光谱 | 第56-57页 |
| ·ATO薄膜的性能指数 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第5章 TiO_2中间层对ATO薄膜结构和性能的影响 | 第59-70页 |
| ·乙醇量对TiO_2薄膜结构和性能的影响 | 第59-64页 |
| ·乙醇量对TiO_2薄膜透过率的影响 | 第59页 |
| ·乙醇量对TiO_2薄膜折射率的影响 | 第59-61页 |
| ·乙醇量对TiO_2薄膜厚度的影响 | 第61页 |
| ·TiO_2薄膜的SEM分析 | 第61-62页 |
| ·TiO_2薄膜的XPS分析 | 第62-64页 |
| ·TiO_2中间层对ATO薄膜结构和性能的影响 | 第64-68页 |
| ·TiO_2中间层对ATO薄膜光学性能的影响 | 第64-66页 |
| ·TiO_2/ATO薄膜XPS分析 | 第66-67页 |
| ·TiO_2中间层厚度对ATO薄膜方块电阻的影响 | 第67页 |
| ·热处理时间对薄膜电阻的影响 | 第67-68页 |
| ·本章小结 | 第68-70页 |
| 第6章 结论 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 硕士期间所发表论文 | 第78页 |