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Sol-Gel法制备ZnO多孔薄膜及其结构和光学性能研究

摘要第1-5页
Abstract第5-9页
第1章 绪论第9-20页
   ·薄膜材料概述第9-10页
   ·多孔材料的应用研究进展第10-12页
     ·多孔材料第10-11页
     ·多孔薄膜第11页
     ·ZnO多孔薄膜研究进展第11-12页
   ·薄膜光学简述第12-18页
     ·光程和光程差第13页
     ·薄膜的光干涉效应第13-14页
     ·反射与透射第14-17页
     ·透射光谱表征薄膜光学性能第17-18页
   ·本论文研究的内容和意义第18-20页
第2章 ZnO多孔薄膜的溶胶-凝胶制备原理第20-29页
   ·ZnO的性质和用途第20-23页
     ·ZnO的晶体结构第20-22页
     ·ZnO的光学特性第22页
     ·ZnO薄膜的性质及应用领域第22-23页
   ·溶胶-凝胶法镀膜第23-29页
     ·Sol-Gel法镀膜工艺及原理第23-25页
     ·影响成膜性和膜结构的主要因素第25-26页
     ·溶胶-凝胶法制备薄膜的工艺方法第26-29页
第3章 Sol-Gel工艺的确定及薄膜的性能表征第29-41页
   ·实验原料和设备第30-31页
   ·方案的设计及工艺过程第31-36页
     ·实验配方设计第31页
     ·锌溶胶的制备第31-32页
     ·基板的性质与清洗第32-34页
     ·浸渍-提拉法涂覆薄膜第34-35页
     ·薄膜的干燥及后处理第35-36页
   ·薄膜的性能表征及原理第36-41页
     ·溶胶-凝胶体的综合热分析第36-37页
     ·扫描电镜(Scanning Electron Micrograph)第37-39页
     ·透射率的测试第39-41页
第4章 结果与分析第41-59页
   ·ZnO薄膜的多孔形成机理第41-46页
     ·ZnO多孔薄膜制备中的实验原理第41-42页
     ·PEG的分子结构及其模板组装化学第42-43页
     ·多孔结构形成机理第43-46页
   ·PEG的加入量对薄膜性能的影响第46-50页
     ·PEG的加入量对薄膜多孔结构的影响第46-49页
     ·PEG的加入量对薄膜透射率的影响第49-50页
   ·镀膜层数对薄膜透射率的影响第50-53页
   ·后处理温度对多孔薄膜性能的影响第53-59页
     ·干凝胶的TG-DTA分析第53-55页
     ·后处理温度对薄膜表面形貌的影响第55-57页
     ·后处理温度对薄膜透射率的影响第57-59页
第5章 结论第59-60页
参考文献第60-64页
致谢第64-65页
攻读硕士学位期间发表的论文第65页

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