| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-22页 |
| ·飞秒激光加工材料的特点 | 第9-11页 |
| ·飞秒激光加工的研究进展 | 第11-16页 |
| ·飞秒激光加工理论研究进展 | 第11-13页 |
| ·飞秒激光加工应用研究进展 | 第13-16页 |
| ·氮化硅晶体薄膜的基本性质和应用 | 第16-20页 |
| ·氮化硅晶体的化学结构 | 第16-17页 |
| ·氮化硅晶体薄膜的物理和化学性质及其应用 | 第17-20页 |
| ·本论文的主要工作 | 第20-22页 |
| 第二章 飞秒激光与氮化硅晶体薄膜相互作用的理论分析 | 第22-31页 |
| ·引言 | 第22页 |
| ·飞秒激光与氮化硅晶体薄膜相互作用的非线性效应 | 第22-27页 |
| ·多光子离化和隧道离化 | 第22-24页 |
| ·雪崩离化 | 第24-25页 |
| ·等离子体吸收激光能量 | 第25-26页 |
| ·自聚焦和等离子体的离焦现象 | 第26-27页 |
| ·飞秒激光与氮化硅晶体薄膜相互作用机理描述 | 第27-30页 |
| ·长脉冲激光对材料损伤 | 第27-28页 |
| ·飞秒激光对氮化硅晶体薄膜的损伤过程 | 第28-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 飞秒激光与氮化硅晶体薄膜相互作用的数值计算 | 第31-52页 |
| ·引言 | 第31页 |
| ·F-P方程 | 第31-33页 |
| ·飞秒激光与氮化硅晶体薄膜作用的雪崩离化系数及多光子离化系数的确定 | 第33-35页 |
| ·多光子离化系数的确定 | 第33-34页 |
| ·雪崩离化系数α的确定 | 第34-35页 |
| ·激光的表示形式以及相关参数的确定 | 第35-37页 |
| ·F-P方程的求解 | 第37-39页 |
| ·引言 | 第37-38页 |
| ·F-P方程求解思想 | 第38-39页 |
| ·计算结果及分析讨论 | 第39-51页 |
| ·第一组参数计算结果与讨论 | 第40-44页 |
| ·第二组参数计算结果与讨论 | 第44-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第四章 飞秒激光脉冲损伤氮化硅晶体薄膜的损伤模型分析 | 第52-64页 |
| ·引言 | 第52页 |
| ·纳秒或皮秒激光脉冲损伤模型及等离子体吸收 | 第52-56页 |
| ·激光脉冲的时间和空间分布 | 第52-54页 |
| ·长脉冲(纳秒、皮秒)作用时的损伤情况 | 第54-55页 |
| ·长脉冲作用时的等离子体吸收模型 | 第55-56页 |
| ·飞秒激光作用氮化硅晶体薄膜的Fan模型分析 | 第56-60页 |
| ·飞秒激光损伤模型 | 第56-57页 |
| ·本文参数下的计算结果 | 第57-60页 |
| ·考虑等离子体形成时间的损伤模型及等离子体吸收 | 第60-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 总结与展望 | 第64-67页 |
| 参考文献 | 第67-72页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73页 |
