基于MEMS技术的开关和电磁带隙可调滤波器设计

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-8页
第一章 绪论	第8-19页
·MEMS 技术	第8-12页
·MEMS 技术概述	第8-9页
·MEMS 制造技术	第9-12页
·RF MEMS 开关	第12-14页
·RF MEMS 滤波器	第14-17页
·本文的研究意义和内容	第17-19页
第二章 RF MEMS 技术的微波原理基础	第19-25页
·传输线理论	第19-21页
·两端口网络	第21-22页
·滤波器设计	第22-25页
第三章 RF MEMS 开关的设计	第25-45页
·静电驱动型 MEMS 开关	第25-33页
·MEMS 开关梁的力学特性分析	第25-30页
·MEMS 开关梁的电磁特性分析	第30-33页
·电热驱动型 MEMS 开关	第33-36页
·版图设计与工艺实现	第36-45页
·MetalMUMPs 工艺	第36-39页
·MEMS 开关的版图设计与工艺实现	第39-45页
第四章 基于MEMS 技术的电磁带隙可调滤波器	第45-68页
·EBG 结构简介	第45-47页
·EBG 结构原理	第47-48页
·平面紧凑型 EBG 结构	第48-50页
·几种新型 UC-EBG 结构滤波器的设计	第50-62页
·T 型UC-EBG 滤波器	第50-55页
·单边紧凑型 UC-EBG 滤波器	第55-59页
·双边紧凑型 UC-EBG 滤波器	第59-62页
·MEMS 可调滤波器	第62-68页
·T 型可调滤波器	第62-65页
·紧凑型可调滤波器	第65-68页
第五章 结论	第68-70页
·论文的主要内容	第68-69页
·论文的创新点	第69页
·未来的工作	第69-70页
致谢	第70-71页
参考文献	第71-74页
攻硕期间取得的研究成果	第74-75页