| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章绪论 | 第9-12页 |
| ·课题的研究背景 | 第9-10页 |
| ·课题研究的意义和目的 | 第10-11页 |
| ·本文的主要研究工作 | 第11-12页 |
| 第二章现阶段微小距离测量的常用原理与方法 | 第12-18页 |
| ·现阶段液晶盒厚度测量原理与方法 | 第12-14页 |
| ·光谱扫描法 | 第12-13页 |
| ·动量扫描法 | 第13页 |
| ·光谱扫描法和动量扫描法比较 | 第13-14页 |
| ·现阶段薄膜厚度测量原理综述 | 第14-17页 |
| ·激光光源法 | 第14-15页 |
| ·斜射式三角测量法 | 第15-17页 |
| ·颜色比对检测法 | 第17页 |
| ·本章小结 | 第17-18页 |
| 第三章基于白光干涉的微小距离测量原理和实现 | 第18-38页 |
| ·现有测试装置简介 | 第18-19页 |
| ·多光束干涉的强度分布 | 第19-22页 |
| ·光谱拟合法测试液晶盒厚度 | 第22-33页 |
| ·实验原理以及数据分析 | 第22-25页 |
| ·程序处理流程图 | 第25页 |
| ·求极值光强对应的入射光波长并剔除拐点 | 第25-27页 |
| ·反射光谱拟合法测量液晶盒厚度 | 第27页 |
| ·实验结果 | 第27-29页 |
| ·程序主函数以及运行界面 | 第29-31页 |
| ·测量范围的确定 | 第31-33页 |
| ·薄膜的干涉 | 第33-37页 |
| ·薄膜干涉理论基础 | 第33-35页 |
| ·单层薄膜折射率和厚度理论实现过程 | 第35页 |
| ·理论计算结果 | 第35-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第四章光谱仪系统方案设计 | 第38-53页 |
| ·系统总体设计方案 | 第38-39页 |
| ·电荷耦合器件TCD1500C | 第39-41页 |
| ·概述 | 第39页 |
| ·TCD1500C 简介 | 第39-41页 |
| ·系统硬件各个功能模块 | 第41-46页 |
| ·电源网络介绍 | 第41-43页 |
| ·TCD1500C 的驱动电路模块 | 第43页 |
| ·电平转换电路模块 | 第43页 |
| ·差分放大模块设计 | 第43-44页 |
| ·数据采集电路设计 | 第44-45页 |
| ·MCU 数据处理模块---LPC2131 微处理器简介 | 第45-46页 |
| ·系统的软件设计 | 第46-51页 |
| ·通用异步串行口 UART 编程及设置 | 第46-47页 |
| ·脉宽调制器PWM 和定时器TIM0 编程和设置 | 第47-48页 |
| ·微处理器IO 设置 | 第48-50页 |
| ·微处理器主函数编程与设置 | 第50页 |
| ·系统软件流程 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-53页 |
| 第五章系统的调试 | 第53-60页 |
| ·系统硬件电路板 | 第53-54页 |
| ·电路板调试 | 第54-58页 |
| ·电源网络调试 | 第54-55页 |
| ·时钟电路调试 | 第55页 |
| ·外部复位电路调试 | 第55页 |
| ·JTAG 下载接口调试 | 第55-56页 |
| ·TCD1500C 调试 | 第56-57页 |
| ·MAX153 调试 | 第57页 |
| ·串口接收软件界面 | 第57页 |
| ·制作电路板时作者出现的错误 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-60页 |
| 第六章 工作总结 | 第60-61页 |
| ·本论文研究总结 | 第60页 |
| ·前景展望 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 个人简历 | 第65页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第65-66页 |