| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 主要符号表 | 第18-20页 |
| 1 绪论 | 第20-46页 |
| 1.1 静电探针理论及其研究意义 | 第20-31页 |
| 1.1.1 静电探针诊断技术 | 第20-28页 |
| 1.1.2 静电探针诊断技术的问题及其研究意义 | 第28-31页 |
| 1.2 等离子体鞘层基本理论 | 第31-38页 |
| 1.2.1 等离子体鞘层的定义 | 第31页 |
| 1.2.2 无碰撞鞘层基本理论 | 第31-35页 |
| 1.2.3 预鞘层基本理论 | 第35-37页 |
| 1.2.4 等离子体鞘层理论的问题 | 第37-38页 |
| 1.3 等离子体鞘层的国内外研究现状 | 第38-41页 |
| 1.3.1 鞘层边界问题的研究现状 | 第38-40页 |
| 1.3.2 不同鞘层特性的研究现状 | 第40-41页 |
| 1.4 发射探针诊断技术的国内外研究现状 | 第41-44页 |
| 1.4.1 冷/热发射探针I-V特性曲线的分离点法 | 第42页 |
| 1.4.2 饱和悬浮电位法 | 第42页 |
| 1.4.3 零发射极限拐点电势法 | 第42-44页 |
| 1.5 本文主要内容 | 第44-46页 |
| 2 发射探针零发射极限拐点电势法的研究 | 第46-63页 |
| 2.1 实验装置 | 第46-50页 |
| 2.1.1 真空放电腔室 | 第46-48页 |
| 2.1.2 发射探针装置 | 第48-50页 |
| 2.2 发射探针等离子体诊断实验 | 第50-57页 |
| 2.2.1 冷/热发射探针I-V特性曲线的分离点法实验 | 第51-52页 |
| 2.2.2 饱和悬浮电位法实验 | 第52-53页 |
| 2.2.3 零发射极限拐点电势法实验 | 第53-56页 |
| 2.2.4 等离子体空间电位测量结果对比 | 第56-57页 |
| 2.3 拐点电势随加热电流呈线性变化的机制 | 第57-61页 |
| 2.4 本章小结 | 第61-63页 |
| 3 改进的零发射极限拐点电势法的测量准确性验证 | 第63-75页 |
| 3.1 实验装置 | 第63-64页 |
| 3.2 改进的零发射极限拐点电势法的真空电势测量结果 | 第64-67页 |
| 3.3 其他发射探针诊断方法的真空电势测量结果 | 第67-74页 |
| 3.3.1 其他发射探针真空电势测量技术介绍 | 第67-69页 |
| 3.3.2 真空电势测量结果 | 第69-74页 |
| 3.4 本章小结 | 第74-75页 |
| 4 自动发射探针装置测量等离子体鞘层 | 第75-95页 |
| 4.1 自动发射探针装置的研发背景 | 第75页 |
| 4.2 装置的硬件构成和软件实现 | 第75-82页 |
| 4.2.1 装置的硬件构成 | 第75-78页 |
| 4.2.2 装置的软件实现 | 第78-82页 |
| 4.3 自动发射探针装置的测试 | 第82-84页 |
| 4.3.1 装置的测量准确性测试 | 第82-83页 |
| 4.3.2 装置的工作效率测试 | 第83-84页 |
| 4.4 等离子体鞘层电势分布测量 | 第84-93页 |
| 4.4.1 实验装置 | 第84-85页 |
| 4.4.2 实验结果与分析 | 第85-93页 |
| 4.5 本章小结 | 第93-95页 |
| 5 较高气压空间电势测量 | 第95-111页 |
| 5.1 较高气压真空电势测量 | 第95-103页 |
| 5.1.1 实验装置 | 第95-96页 |
| 5.1.2 实验结果与分析 | 第96-103页 |
| 5.2 较高气压微波ECR等离子体空间电位测量 | 第103-109页 |
| 5.2.1 实验装置 | 第103-104页 |
| 5.2.2 实验结果与分析 | 第104-109页 |
| 5.3 本章小结 | 第109-111页 |
| 6 结论与展望 | 第111-113页 |
| 6.1 结论 | 第111-112页 |
| 6.2 创新点 | 第112页 |
| 6.3 展望 | 第112-113页 |
| 参考文献 | 第113-121页 |
| 附录A 不同材料的发射探针诊断研究 | 第121-128页 |
| 攻读博士学位期间科研项目及科研成果 | 第128-129页 |
| 致谢 | 第129-130页 |
| 作者简介 | 第130页 |
