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相变存储器双向脉冲操作特性研究

摘要第4-5页
ABSTRACT第5页
1 绪论第8-17页
    1.1 半导体存储器第8-9页
    1.2 相变存储器(PCRAM)第9-11页
    1.3 相变存储器的基本原理第11-12页
    1.4 相变存储器多值存储技术第12-14页
    1.5 双脉冲调制技术第14-15页
    1.6 论文目的和研究内容第15-17页
2 双向操作实验设计第17-25页
    2.1 主要实验设备第17-21页
    2.2 相变存储单元样品制备流程第21-23页
    2.3 相变存储器电学性能参数第23-24页
    2.4 本章小结第24-25页
3 双向脉冲实验的Hspice仿真第25-33页
    3.1 仿真模型第25-28页
    3.2 双向脉冲幅值调制仿真第28-29页
    3.3 双向脉冲间隔调制仿真第29-31页
    3.4 双向脉冲脉宽调制仿真第31-32页
    3.5 本章小结第32-33页
4 双向脉冲调制实验和电阻漂移测试第33-44页
    4.1 测试方法及流程第33-35页
    4.2 样品基本性能第35-37页
    4.3 双向脉冲调制测试结果第37-41页
    4.4 电阻漂移测试第41-42页
    4.5 本章小结第42-44页
5 结论和展望第44-46页
    5.1 工作总结第44-45页
    5.2 展望第45-46页
致谢第46-48页
参考文献第48-52页
附录1 攻读硕士学位期间发表的主要论文和申请专利第52页

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