| 摘要 | 第9-10页 |
| ABSTRACT | 第10-11页 |
| 第一章 绪论 | 第12-21页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第12-13页 |
| 1.2 文献综述 | 第13-18页 |
| 1.2.1 薄膜压力传感器发展概况及趋势 | 第13-14页 |
| 1.2.2 石墨烯压力传感器研究现状 | 第14-17页 |
| 1.2.3 悬浮石墨烯压力传感器研究现状 | 第17-18页 |
| 1.3 论文研究思路与章节安排 | 第18-21页 |
| 1.3.1 论文研究内容及思路 | 第18-19页 |
| 1.3.2 论文组织结构 | 第19-21页 |
| 第二章 悬浮石墨烯薄膜压力敏感特性及压阻效应研究 | 第21-39页 |
| 2.1 悬浮石墨烯薄膜压力敏感特性理论建模与分析 | 第21-26页 |
| 2.1.1 悬浮石墨烯薄膜压力敏感特性理论建模 | 第21-25页 |
| 2.1.2 不同条件下薄膜压力敏感特性理论计算结果分析 | 第25-26页 |
| 2.2 悬浮石墨烯薄膜压力敏感特性有限元建模与仿真 | 第26-32页 |
| 2.2.1 网格划分对结果的影响 | 第27页 |
| 2.2.2 三种形状薄膜有限元仿真 | 第27-30页 |
| 2.2.3 不同条件下薄膜压力敏感特性仿真计算结果分析 | 第30-32页 |
| 2.3 理论计算、有限元仿真计算及与实验结果对比分析 | 第32-33页 |
| 2.3.1 理论计算与有限元仿真计算对比 | 第32-33页 |
| 2.3.2 理论计算、有限元仿真与文献中实测值对比分析 | 第33页 |
| 2.4 受压形变下石墨烯薄膜压阻效应研究 | 第33-38页 |
| 2.4.1 石墨烯薄膜压阻效应表征 | 第33-36页 |
| 2.4.2 石墨烯薄膜压阻特性构建 | 第36-37页 |
| 2.4.3 石墨烯薄膜压阻特性适用条件 | 第37-38页 |
| 2.5 本章小结 | 第38-39页 |
| 第三章 悬浮石墨烯压力传感器设计与制造 | 第39-55页 |
| 3.1 悬浮石墨烯压力传感器设计 | 第39-42页 |
| 3.1.1 悬浮石墨烯压力传感器结构设计 | 第39-42页 |
| 3.1.2 悬浮石墨烯压力传感器尺寸设计 | 第42页 |
| 3.2 悬浮石墨烯压力传感器加工工艺流程设计 | 第42-46页 |
| 3.2.1 相关工艺简介及分析 | 第42-44页 |
| 3.2.2 工艺流程设计 | 第44-46页 |
| 3.3 悬浮石墨烯压力传感器加工实施 | 第46-54页 |
| 3.3.1 光刻板设计 | 第46-48页 |
| 3.3.2 石墨烯薄膜转移 | 第48-50页 |
| 3.3.3 重要工艺完成前后的微观观测 | 第50-54页 |
| 3.4 本章小结 | 第54-55页 |
| 第四章 悬浮石墨烯压力传感器测试与分析 | 第55-65页 |
| 4.1 悬浮石墨烯压力传感器表征 | 第55-58页 |
| 4.1.1 微观形貌表征 | 第55-57页 |
| 4.1.2 拉曼光谱材料表征 | 第57-58页 |
| 4.2 测试方案设计与平台搭建 | 第58-61页 |
| 4.2.1 测试方案设计 | 第58-59页 |
| 4.2.2 测试平台搭建与设备选择 | 第59-61页 |
| 4.3 测试实验实施及结果分析 | 第61-63页 |
| 4.4 悬浮石墨烯压力传感器性能影响因素分析 | 第63-64页 |
| 4.5 本章小结 | 第64-65页 |
| 第五章 结论与展望 | 第65-67页 |
| 5.1 研究总结 | 第65-66页 |
| 5.2 研究展望 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 作者在攻读硕士学位期间取得的学术成果 | 第72页 |
