环式静电传感器空间灵敏度仿真分析与优化研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-15页 |
| 1.2.1 测量方法研究现状 | 第11-13页 |
| 1.2.2 静电传感器分类及特点 | 第13-15页 |
| 1.3 静电法在实际应用中遇到的问题 | 第15页 |
| 1.4 课题研究内容及章节安排 | 第15-17页 |
| 2 静电传感器的基础理论 | 第17-23页 |
| 2.1 静电感应原理 | 第17-18页 |
| 2.2 静电传感器结构及原理分析 | 第18-21页 |
| 2.2.1 静电传感器结构 | 第18-19页 |
| 2.2.2 静电传感器原理 | 第19-20页 |
| 2.2.3 静电传感器等效电路 | 第20-21页 |
| 2.3 静电传感器空间灵敏度 | 第21-22页 |
| 2.4 本章小结 | 第22-23页 |
| 3 环式静电传感器空间灵敏度特性的仿真分析 | 第23-38页 |
| 3.1 静电传感器有限元法 | 第23-25页 |
| 3.1.1 Maxwell软件介绍 | 第23-24页 |
| 3.1.2 有限元法基本思想 | 第24页 |
| 3.1.3 静电场有限元法 | 第24-25页 |
| 3.2 环式静电传感器仿真研究 | 第25-34页 |
| 3.3 环式静电传感器空间灵敏度特性仿真分析 | 第34-37页 |
| 3.3.1 轴向径向空间位置的空间灵敏度特性 | 第34-36页 |
| 3.3.2 电极宽度的空间灵敏度特性 | 第36-37页 |
| 3.4 本章小结 | 第37-38页 |
| 4 环式静电传感器空间灵敏度的优化研究 | 第38-50页 |
| 4.1 优化设计概述 | 第38-39页 |
| 4.1.1 优化设计目的及意义 | 第38页 |
| 4.1.2 优化设计方法 | 第38-39页 |
| 4.2 环式静电传感器空间灵敏度优化模型的建立 | 第39-42页 |
| 4.3 多颗粒空间灵敏度特性分析 | 第42-46页 |
| 4.3.1 多颗粒空间灵敏度模型建立 | 第42-43页 |
| 4.3.2 多颗粒空间灵敏度特性分析 | 第43-46页 |
| 4.4 环式静电传感器动态灵敏度特性 | 第46-49页 |
| 4.5 本章小结 | 第49-50页 |
| 5 模拟实验研究 | 第50-59页 |
| 5.1 实验平台的搭建 | 第50-51页 |
| 5.2 系统设备 | 第51-52页 |
| 5.3 数据采集与处理 | 第52-56页 |
| 5.3.1 数据采集与分析 | 第52-54页 |
| 5.3.2 实验验证分析 | 第54-56页 |
| 5.4 实验结果分析 | 第56-58页 |
| 5.5 本章小结 | 第58-59页 |
| 6 总结与展望 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 攻读硕士期间发表的论文及所取得的研究成果 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
