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基于UV-LIGA技术的双频段波导带通滤波器设计与制备

摘要第4-5页
abstract第5-6页
1 绪论第9-17页
    1.1 研究背景及意义第9-10页
    1.2 国内外研究现状第10-14页
    1.3 本论文的主要工作第14-15页
    1.4 本论文的结构安排第15-17页
2 双频段波导带通滤波器设计理论基础第17-29页
    2.1 矩形波导理论第17-21页
        2.1.1 矩形波导内的TM波第17-20页
        2.1.2 矩形波导内的TE波第20-21页
    2.2 谐振腔第21-23页
        2.2.1 谐振腔结构第21-22页
        2.2.2 谐振频率第22-23页
    2.3 波导分支接头第23-26页
        2.3.1 E-T型波导分支接头第24-25页
        2.3.2 H-T型波导分支接头第25-26页
    2.4 交叉耦合理论第26-28页
    2.5 本章小结第28-29页
3 双频段波导带通滤波器的设计与仿真第29-43页
    3.1 单频段波导带通滤波器设计第29-35页
        3.1.1 单频段波导带通滤波器结构设计分析第29-30页
        3.1.2 单频段波导带通滤波器建模仿真第30-35页
    3.2 参数变化对波导带通滤波器性能的影响第35-40页
        3.2.1 波导带通滤波器的比例效应第35-37页
        3.2.2 谐振腔尺寸对波导带通滤波器性能的影响第37-38页
        3.2.3 耦合结构参数对波导带通滤波器性能的影响第38-39页
        3.2.4 耦合膜片厚度对波导带通滤波器性能的影响第39-40页
    3.3 双频段波导带通滤波器的设计第40-41页
    3.4 本章小结第41-43页
4 基于UV-LIGA工艺的波导带通滤波器制备第43-51页
    4.1 UV-LIGA工艺第43-44页
    4.2 双频段波导带通滤波器加工版图设计第44-45页
    4.3 工艺流程制定第45-50页
    4.4 本章小结第50-51页
5 双频段波导带通滤波器的测试第51-59页
    5.1 双频段波导带通滤波器表面形貌测试第51-55页
        5.1.1 双频段波导带通滤波器侧壁高度测试第52-53页
        5.1.2 双频段波导带通滤波器粗糙度测试第53-55页
    5.2 双频段波导带通滤波器电磁性能测试第55-58页
    5.3 本章小结第58-59页
6 总结与展望第59-61页
    6.1 研究工作总结第59-60页
    6.2 进一步研究工作展望第60-61页
参考文献第61-64页
攻读硕士期间发表的论文及取得的研究成果第64-65页
致谢第65-66页

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