| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 课题背景 | 第9-12页 |
| 1.1.1 磁场传感器介绍 | 第9页 |
| 1.1.2 磁场传感器的应用 | 第9-10页 |
| 1.1.3 磁场传感器的种类 | 第10-11页 |
| 1.1.4 MEMS磁场传感器的尺度效应及特征 | 第11-12页 |
| 1.2 MEMS磁场传感器的研究现状 | 第12-15页 |
| 1.2.1 利用超薄压阻悬臂梁的3D洛伦兹力磁场磁传感器 | 第12-13页 |
| 1.2.2 使用单结构利用洛伦兹力测量磁场的三轴磁场传感器 | 第13-14页 |
| 1.2.3 光学扭转微镜磁场传感器 | 第14-15页 |
| 1.2.4 利用铁磁压电复合材料制成的磁场传感器 | 第15页 |
| 1.3 MEMS磁场传感器检测驱动方式总结 | 第15-16页 |
| 1.4 论文研究内容及意义 | 第16页 |
| 1.5 论文组织结构 | 第16-19页 |
| 第二章 磁场传感器的理论模型与模拟 | 第19-35页 |
| 2.1 谐振的意义及其基本特性 | 第19-20页 |
| 2.2 有限元模态分析 | 第20页 |
| 2.3 一维结构的基本数学模型 | 第20-25页 |
| 2.3.1 扭转式磁场传感器基本结构 | 第20-21页 |
| 2.3.2 谐振器阻尼的计算 | 第21-23页 |
| 2.3.3 偏心结构的频率特性 | 第23-25页 |
| 2.4 二维结构的原理及特性 | 第25-27页 |
| 2.4.1 二维扭转结构的基本原理 | 第26页 |
| 2.4.2 模态及频率的选择 | 第26-27页 |
| 2.5 结构设计的主要参数 | 第27-33页 |
| 2.5.1 内外梁参数对频率的影响 | 第27-28页 |
| 2.5.2 长宽参数变化对频率的影响 | 第28-30页 |
| 2.5.3 外框参数 | 第30-31页 |
| 2.5.4 不对称结构的参数设置 | 第31-33页 |
| 2.6 本章小结 | 第33-35页 |
| 第三章 器件制造及测量 | 第35-55页 |
| 3.1 器件制造 | 第35-36页 |
| 3.1.1 基本制作工艺介绍 | 第35页 |
| 3.1.2 制作工艺步骤介绍 | 第35-36页 |
| 3.2 检测电路设计 | 第36-41页 |
| 3.2.1 电路中的噪声 | 第37-38页 |
| 3.2.2 放大电路 | 第38-39页 |
| 3.2.3 滤波电路 | 第39-41页 |
| 3.3 多普勒仪的频率检测 | 第41-45页 |
| 3.3.1 对称结构 | 第41-43页 |
| 3.3.2 偏心结构 | 第43-44页 |
| 3.3.3 频率误差分析 | 第44-45页 |
| 3.4 实际磁场的测量 | 第45-53页 |
| 3.4.1 对称结构 | 第46-49页 |
| 3.4.2 偏心结构 | 第49-52页 |
| 3.4.3 测试小结 | 第52-53页 |
| 3.5 本章小结 | 第53-55页 |
| 第四章 三维磁场传感器 | 第55-61页 |
| 4.1 三维结构原理 | 第55-58页 |
| 4.1.1 基本结构 | 第56页 |
| 4.1.2 工作原理及模态研究 | 第56-58页 |
| 4.2 参数调整及仿真结果 | 第58-59页 |
| 4.3 制备方法及步骤 | 第59-60页 |
| 4.4 本章小结 | 第60-61页 |
| 第五章 总结与展望 | 第61-63页 |
| 5.1 总结 | 第61-62页 |
| 5.2 展望 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 作者简介 | 第68页 |
| 攻读硕士期间发表的论文和其他学术成果 | 第68页 |