基于多片式MOCVD温度控制系统的算法研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-15页 |
| ·课题简介 | 第7页 |
| ·控制理论的生产与发展 | 第7-9页 |
| ·温度控制的发展概况 | 第9-11页 |
| ·MOCVD的控制系统 | 第11-13页 |
| ·本文章节安排 | 第13-15页 |
| 第二章 多片式MOCVD温度控制系统简介 | 第15-21页 |
| ·MOCVD系统的组成 | 第15-16页 |
| ·MOCVD设备反应室与加热原理 | 第16-17页 |
| ·MOCVD反应室结构 | 第16页 |
| ·高频感应加热原理 | 第16-17页 |
| ·MOCVD温度控制对象与组成 | 第17-20页 |
| ·MOCVD温度控制对象 | 第17页 |
| ·MOCVD温度控制方式 | 第17-18页 |
| ·MOCVD温度控制组成 | 第18-19页 |
| ·MOCVD温度控制系统特点 | 第19-20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 第三章 多片式MOCVD温度控制系统的数学建模 | 第21-31页 |
| ·系统辨识原理简介 | 第21-23页 |
| ·系统辨识方法 | 第23-26页 |
| ·经典阶跃响应辩识方法的弊端 | 第23页 |
| ·直接法阶跃响应辩识 | 第23-26页 |
| ·系统模型的建立 | 第26-30页 |
| ·实验设计 | 第26-27页 |
| ·模型结构的选取 | 第27-28页 |
| ·模型参数的确定 | 第28页 |
| ·模型验证 | 第28-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第四章 典型控制算法研究 | 第31-51页 |
| ·PID控制算法研究 | 第31-35页 |
| ·PID控制原理 | 第31-32页 |
| ·仿真结果与分析 | 第32-35页 |
| ·内模控制算法研究 | 第35-39页 |
| ·内模控制基本原理 | 第35-36页 |
| ·内模控制器的设计 | 第36-38页 |
| ·系统仿真结果与分析 | 第38-39页 |
| ·模糊—PID控制算法研究 | 第39-48页 |
| ·模糊控制概述 | 第40-41页 |
| ·模糊控制器设计简介 | 第41-43页 |
| ·模糊—PID控制原理 | 第43-46页 |
| ·系统仿真与分析 | 第46-48页 |
| ·带Smith预估的控制算法研究 | 第48-50页 |
| ·预估控制原理 | 第48-49页 |
| ·模糊自适应PID+Smith方法 | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第五章 神经网络控制算法研究 | 第51-65页 |
| ·人工神经网络研究的起源 | 第51页 |
| ·人工神经网络的结构 | 第51-53页 |
| ·神经元及其特性 | 第51-52页 |
| ·人工神经网络的基本类型 | 第52-53页 |
| ·BP神经网络PID控制 | 第53-59页 |
| ·BP神经网络算法 | 第54-57页 |
| ·BP神经网络PID控制器的设计 | 第57-59页 |
| ·具有Smith预估器的单神经元PID控制算法 | 第59-63页 |
| ·本章小结 | 第63-65页 |
| 第六章 总结与展望 | 第65-67页 |
| 致谢 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
