基于干涉传感的触针式位移测量系统的研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 课题背景及研究意义 | 第8-9页 |
| 1.2 触针式轮廓仪国内外研究现状 | 第9-11页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第9-10页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第10-11页 |
| 1.3 触针式测头的原理 | 第11-14页 |
| 1.4 主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 总体结构设计 | 第15-22页 |
| 2.1 引言 | 第15页 |
| 2.2 工作原理和性能要求 | 第15页 |
| 2.3 触针测量系统结构设计 | 第15-19页 |
| 2.4 触针式位移测量系统的总体结构 | 第19页 |
| 2.5 ANSYS 模态分析 | 第19-21页 |
| 2.6 本章小结 | 第21-22页 |
| 第3章 干涉传感系统与测量模型的建立 | 第22-35页 |
| 3.1 引言 | 第22页 |
| 3.2 激光干涉位移传感器的光路 | 第22-23页 |
| 3.3 激光器及其主要光学器件的选择 | 第23-25页 |
| 3.4 模型分析 | 第25-34页 |
| 3.4.1 几何模型的建立 | 第25-26页 |
| 3.4.2 精确光程计算 | 第26-30页 |
| 3.4.3 整体模型的仿真分析 | 第30-32页 |
| 3.4.4 误差分析及补偿 | 第32-34页 |
| 3.5 光栅角度传感系统 | 第34页 |
| 3.6 本章小结 | 第34-35页 |
| 第4章 恒力系统的设计 | 第35-43页 |
| 4.1 引言 | 第35页 |
| 4.2 触针探测力对测量结果的影响 | 第35-36页 |
| 4.3 触针杠杆机构的受力分析 | 第36-38页 |
| 4.4 音圈电机 | 第38-41页 |
| 4.4.1 恒力装置方案的确定 | 第38-39页 |
| 4.4.2 音圈电机原理 | 第39页 |
| 4.4.3 音圈电机力 | 第39-40页 |
| 4.4.4 音圈电机设计 | 第40页 |
| 4.4.5 音圈电机动态性能 | 第40-41页 |
| 4.5 ANSYS 电磁学仿真 | 第41-42页 |
| 4.6 音圈电机的力控制模式 | 第42页 |
| 4.7 本章小结 | 第42-43页 |
| 第5章 实验与分析 | 第43-51页 |
| 5.1 引言 | 第43页 |
| 5.2 实验平台的搭建 | 第43-44页 |
| 5.3 推力特性实验 | 第44-47页 |
| 5.4 凸透镜测量实验 | 第47-50页 |
| 5.5 本章小结 | 第50-51页 |
| 结论 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-57页 |
| 致谢 | 第57页 |
