基于变焦测量技术的表面测量方法研究
| 中文摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 选题背景及意义 | 第9页 |
| 1.2 表面形貌测量方法 | 第9-14页 |
| 1.2.1 非光学测量方法 | 第10-11页 |
| 1.2.2 光学测量方法 | 第11-14页 |
| 1.3 本文研究目的及主要内容 | 第14-17页 |
| 第2章 变焦测量原理及聚焦评价函数 | 第17-29页 |
| 2.1 聚焦和离焦模型 | 第17-18页 |
| 2.2 变焦测量原理 | 第18-20页 |
| 2.3 聚焦评价函数分析 | 第20-27页 |
| 2.3.1 聚焦评价函数 | 第20-23页 |
| 2.3.2 聚焦评价函数窗口尺寸的选取 | 第23-27页 |
| 2.4 本章小结 | 第27-29页 |
| 第3章 测试系统构建 | 第29-41页 |
| 3.1 测试系统 | 第29-30页 |
| 3.2 系统硬件 | 第30-36页 |
| 3.2.1 机械支撑和运动模块 | 第30-31页 |
| 3.2.2 成像和采集模块 | 第31-36页 |
| 3.2.3 系统总体装配 | 第36页 |
| 3.3 系统软件 | 第36-39页 |
| 3.3.1 图像采集控制模块 | 第36-38页 |
| 3.3.2 数据处理模块 | 第38-39页 |
| 3.4 本章小结 | 第39-41页 |
| 第4章 实验参数选取与数据处理 | 第41-59页 |
| 4.1 实验参数选取 | 第41-47页 |
| 4.1.1 物镜放大倍率与数值孔径 | 第41-43页 |
| 4.1.2 照明光源 | 第43-46页 |
| 4.1.3 扫描步距 | 第46-47页 |
| 4.2 数据处理 | 第47-57页 |
| 4.2.1 图像预处理 | 第47-50页 |
| 4.2.2 插值拟合运算 | 第50-54页 |
| 4.2.3 一致性检验 | 第54-57页 |
| 4.2.4 空域滤波 | 第57页 |
| 4.3 本章小结 | 第57-59页 |
| 第5章 实验与结果分析 | 第59-69页 |
| 5.1 MEMS微谐振器结构 | 第59-63页 |
| 5.2 球形探针测头 | 第63-66页 |
| 5.3 刀具刃口 | 第66-67页 |
| 5.4 本章小结 | 第67-69页 |
| 第6章 总结与展望 | 第69-71页 |
| 6.1 工作总结 | 第69-70页 |
| 6.2 工作展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
