大曲率半径光学元件的测量及误差分析
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-14页 |
| 1.1 研究的背景和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 大曲率半径光学元件测量的现状和趋势 | 第11-12页 |
| 1.3 本文的内容安排及主要创新点 | 第12-14页 |
| 1.3.1 主要研究内容 | 第12-13页 |
| 1.3.2 主要创新点 | 第13-14页 |
| 第二章 大曲率半径光学元件的测量原理及实验 | 第14-25页 |
| 2.1 干涉测量的基本概念 | 第14-17页 |
| 2.2 干涉测量的基本方法 | 第17-19页 |
| 2.3 改进的大曲率半径光学元件测量方法 | 第19-20页 |
| 2.4 被测样品参数要求 | 第20-21页 |
| 2.5 测量过程及结果 | 第21-24页 |
| 2.6 本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 参考镜的绝对测量 | 第25-35页 |
| 3.1 绝对测量及其一般方法 | 第25-28页 |
| 3.1.1 绝对测量的方法 | 第25-28页 |
| 3.2 随机测量均值法基本原理及实验 | 第28-34页 |
| 3.2.1 随机测量均值法的基本原理 | 第28-30页 |
| 3.2.2 实验仪器及光学元件 | 第30-32页 |
| 3.2.3 随机测量均值法实验步骤 | 第32-33页 |
| 3.2.4 随机测量均值法的测量结果及分析 | 第33-34页 |
| 3.3 本章小结 | 第34-35页 |
| 第4章 干涉图的校准 | 第35-52页 |
| 4.1 干涉图的校准及其一般方法 | 第35-36页 |
| 4.2 一种新的干涉图校准方法 | 第36-49页 |
| 4.2.1 干涉图的预处理 | 第36-45页 |
| 4.2.2 标准件边缘的初步定位 | 第45-47页 |
| 4.2.3 标准件边缘的精确定位 | 第47-49页 |
| 4.3 干涉图校准的结果及分析 | 第49-51页 |
| 4.3.1 干涉图校准结果 | 第49-50页 |
| 4.3.2 干涉图校准的精度及耗时分析 | 第50-51页 |
| 4.4 本章小结 | 第51-52页 |
| 第5章 大曲率半径光学元件测量的误差分析 | 第52-64页 |
| 5.1 大曲率半径光学元件测量的误差来源 | 第52页 |
| 5.2 各误差源对测量结果的影响 | 第52-63页 |
| 5.2.1 绝对测量误差 | 第52-53页 |
| 5.2.2 干涉图校准误差 | 第53-56页 |
| 5.2.3 激光干涉仪误差 | 第56-63页 |
| 5.3 本章小结 | 第63-64页 |
| 总结与展望 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 图表目录 | 第68-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 附录 | 第73-74页 |
| 作者简历 | 第74页 |
