硅压阻式压力传感器高精度温度补偿技术研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 本论文的设计来源 | 第9-10页 |
| 1.2 硅压阻式压力传感器的原理 | 第10-13页 |
| 1.3 硅压阻式压力传感器的发展方向 | 第13-14页 |
| 1.4 温度补偿方法的国内外研究现状 | 第14-16页 |
| 1.5 本文选题的原因 | 第16页 |
| 1.6 本文的主要意义及工作 | 第16-17页 |
| 1.7 本章小结 | 第17-18页 |
| 第二章 温度对精度的影响及补偿方案的架构 | 第18-27页 |
| 2.1 温度对硅压阻式压力传感器输出精度的影响 | 第18-19页 |
| 2.1.1 零点热漂移 | 第18-19页 |
| 2.1.2 灵敏度热漂移 | 第19页 |
| 2.2 硅压阻式压力传感器的温度补偿方法 | 第19-24页 |
| 2.2.1 硬件补偿法 | 第20-21页 |
| 2.2.2 软件补偿法 | 第21-24页 |
| 2.3 本论文温度补偿方案及架构设计 | 第24-26页 |
| 2.3.1 数字传感信号调理方案 | 第25页 |
| 2.3.2 模拟传感信号调理方案 | 第25-26页 |
| 2.5 本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 两种温度补偿系统的实现 | 第27-58页 |
| 3.1 数字传感信号调理方案 | 第27-49页 |
| 3.1.1 硅压阻式压力敏感元件 | 第27-29页 |
| 3.1.2 DSP的选型 | 第29-30页 |
| 3.1.3 温度传感器 | 第30-32页 |
| 3.1.4 电源设计 | 第32-34页 |
| 3.1.5 信号放大电路 | 第34页 |
| 3.1.6 数字信号处理器设计 | 第34-35页 |
| 3.1.7 信号采集电路 | 第35-37页 |
| 3.1.8 存储器电路 | 第37-38页 |
| 3.1.9 信号输出电路 | 第38页 |
| 3.1.10软件设计 | 第38-49页 |
| 3.2 模拟传感信号调理的技术方案 | 第49-57页 |
| 3.2.1 MAX1452工作原理 | 第49-52页 |
| 3.2.2 传感器温度补偿的实现 | 第52-54页 |
| 3.2.3 电源供电设计 | 第54-55页 |
| 3.2.4 EEPROM的供电设计 | 第55-56页 |
| 3.2.5 集成化精密变送电路 | 第56-57页 |
| 3.3 本章总结 | 第57-58页 |
| 第四章 性能测试 | 第58-67页 |
| 4.1 实验验证 | 第58-61页 |
| 4.1.1 实验目的 | 第58页 |
| 4.1.2 试验方法 | 第58页 |
| 4.1.3 试验条件 | 第58-61页 |
| 4.1.4 测试情况 | 第61页 |
| 4.2 试验结果分析 | 第61-66页 |
| 4.2.1 DSP温度调理方案测试结果 | 第61-64页 |
| 4.2.2 MAX1425信号调理方案实验结果 | 第64-66页 |
| 4.3 本章小结 | 第66-67页 |
| 第五章 结论 | 第67-69页 |
| 5.1 全文总结 | 第67-68页 |
| 5.2 本文的创新点 | 第68页 |
| 5.3 工作展望 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
