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电子轰击有源像素传感器电荷收集效率理论模拟研究

摘要第4-5页
ABSTRACT第5页
第一章 绪论第8-16页
    1.1 微光夜视技术的发展第8-13页
    1.2 研究的背景和意义第13-14页
    1.3 论文的主要内容第14-16页
第二章 电子散射特性模拟的理论模型第16-28页
    2.1 蒙特卡罗方法介绍第16-17页
    2.2 电子散射模拟过程第17-21页
        2.2.1 EBAPS内电子散射过程第17-18页
        2.2.2 散射截面第18-21页
    2.3 电子的能量损失第21-23页
        2.3.1 弹性散射的能量损失第21-22页
        2.3.2 非弹性散射的能量损失第22-23页
    2.4 入射光电子在电子倍增层中的运动轨迹参数和计算机算法第23-27页
        2.4.1 运动轨迹计算参数第23页
        2.4.2 计算机算法第23-27页
    2.5 本章小结第27-28页
第三章 EBAPS中电子倍增层内电子散射特性模拟研究第28-38页
    3.1 MATLAB编程计算电子运动轨迹和倍增电子分布第28页
    3.2 物理模型第28-30页
    3.3 入射光电子在钝化层中电子散射特性和透过特性研究第30-33页
        3.3.1 入射光电子能量对电子散射特性的影响研究第30-31页
        3.3.2 钝化层厚度与能量损失率的关系研究第31-32页
        3.3.3 入射光电子束直径与能量损失率的关系第32-33页
    3.4 入射光电子在倍增层内电子散射特性研究第33-35页
        3.4.1 掺杂浓度对倍增层内电子散射特性的影响第33页
        3.4.2 不同能量入射光电子在固体中的电子散射特性及经过钝化层的能量损失第33-35页
        3.4.3 入射光电子束直径与电子散射特性的关系研究第35页
    3.5 倍增电子分布模拟研究第35-37页
        3.5.1 XOY面上倍增电子分布情况研究第35-36页
        3.5.2 入射深度上倍增电子分布情况研究第36-37页
    3.6 本章小结第37-38页
第四章 基底均匀掺杂下EBAPS电荷收集效率理论模拟研究第38-44页
    4.1 物理模型第38-39页
    4.2 掺杂浓度与电荷收集效率的关系第39-41页
    4.3 基底厚度与电荷收集效率关系第41-42页
    4.4 入射光电子能量与电荷收集效率的关系第42-43页
    4.5 本章小结第43-44页
第五章 基底梯度掺杂下EBAPS电荷收集效率理论模拟研究第44-50页
    5.1 物理模型第44-45页
    5.2 不同掺杂情况下EBAPS电荷收集效率理论模拟研究第45-49页
    5.3 本章小结第49-50页
第六章 总结第50-52页
致谢第52-53页
参考文献第53-56页
攻读硕士学位期间发表的学术论文及其它成果第56页

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