| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 课题来源 | 第10页 |
| 1.2 课题的研究意义及背景 | 第10-11页 |
| 1.3 超光滑表面技术加工的研究现状 | 第11-17页 |
| 1.3.1 弹性发射加工 | 第12-13页 |
| 1.3.2 浮法抛光 | 第13-14页 |
| 1.3.3 浴法抛光 | 第14-15页 |
| 1.3.4 磁流变加工 | 第15-16页 |
| 1.3.5 液流悬浮抛光 | 第16页 |
| 1.3.6 动压浮离抛光 | 第16-17页 |
| 1.4 超光滑表面加工技术的发展趋势 | 第17-18页 |
| 1.5 本课题的主要研究内容 | 第18-20页 |
| 第2章 液动压悬浮抛光的理论研究 | 第20-34页 |
| 引言 | 第20页 |
| 2.1 流体动力学基本方程 | 第20-22页 |
| 2.1.1 连续性方程 | 第20-21页 |
| 2.1.2 动量守恒定律 | 第21-22页 |
| 2.1.3 能量守恒方程 | 第22页 |
| 2.2 液动压悬浮抛光的流体流动模型 | 第22-28页 |
| 2.2.1 流体动压润滑理论 | 第22-24页 |
| 2.2.2 流体动压润滑在抛光加工中的应用 | 第24-25页 |
| 2.2.3 液动压悬浮抛光模型的提出 | 第25-28页 |
| 2.3 液动压悬浮抛光加工中游离磨粒的运动分析和冲击理论 | 第28-32页 |
| 2.3.1 非接触抛光下游离磨粒的运动状态 | 第28-29页 |
| 2.3.2 游离磨粒能量冲击去除材料的理论分析 | 第29-32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-34页 |
| 第3章 液动压悬浮抛光流场的三维数值模拟与分析 | 第34-56页 |
| 引言 | 第34页 |
| 3.1 计算流体力学概述 | 第34-36页 |
| 3.2 两种抛光工具盘三维流体数值分析 | 第36-41页 |
| 3.2.1 抛光工具盘的结构设计 | 第36-37页 |
| 3.2.2 数值模拟中的控制方程组 | 第37-38页 |
| 3.2.3 计算对象的三维简化模型 | 第38-39页 |
| 3.2.4 网格划分及边界条件设置 | 第39页 |
| 3.2.5 三维流场数值模拟结果及其分析 | 第39-41页 |
| 3.3 液动压悬浮抛光下结构参数和加工参数对液体压力分布的影响 | 第41-49页 |
| 3.3.1 不同楔形角度对液体压力分布的影响 | 第41-45页 |
| 3.3.2 抛光工具转速对液体压力分布的影响 | 第45-47页 |
| 3.3.3 不同加工间隙对液体压力分布的影响 | 第47-49页 |
| 3.4 固液两相流下磨粒流对加工效果的影响 | 第49-55页 |
| 3.4.1 两相流模型的介绍及选择 | 第49-50页 |
| 3.4.2 不同体积分数下磨粒流对抛光液压力的影响 | 第50-53页 |
| 3.4.3 磨粒流速度分布研究 | 第53-55页 |
| 3.5 本章小结 | 第55-56页 |
| 第4章 液动压悬浮抛光加工的试验研究 | 第56-70页 |
| 引言 | 第56页 |
| 4.1 液动压悬浮抛光装置的特点 | 第56-57页 |
| 4.2 液动压悬浮抛光试验平台的构成 | 第57-61页 |
| 4.2.1 大理石光学平台 | 第57-58页 |
| 4.2.2 抛光工具盘模块 | 第58-59页 |
| 4.2.3 加工间隙调节模块 | 第59页 |
| 4.2.4 液体压力检测装置 | 第59-61页 |
| 4.3 液动压悬浮抛光工作原理 | 第61-62页 |
| 4.4 悬浮抛光下抛光液动态压力检测试验 | 第62-66页 |
| 4.4.1 液体压力检测方法选择 | 第62-63页 |
| 4.4.2 抛光液动态压力测量原理 | 第63页 |
| 4.4.3 加工参数对抛光液动态压力的影响 | 第63-66页 |
| 4.5 液动压悬浮抛光的试样制备与研究 | 第66-68页 |
| 4.5.1 抛光液的选择与配置 | 第66-67页 |
| 4.5.2 加工试样的TEM表征 | 第67-68页 |
| 4.6 本章小结 | 第68-70页 |
| 第5章 结论与展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 攻读学位期间参与的项目与科研成果 | 第76页 |
