| 第一章 绪论 | 第10-26页 |
| 1.1 前言 | 第10-11页 |
| 1.2 压电精密驱动器的分类及特点 | 第11-16页 |
| 1.2.1 压电超声波驱动器 | 第12-13页 |
| 1.2.2 压电精密定位微动工作台 | 第13-15页 |
| 1.2.3 压电惯性驱动器 | 第15-16页 |
| 1.2.4 压电步进精密驱动器 | 第16页 |
| 1.3 压电精密驱动器的应用领域 | 第16-18页 |
| 1.4 压电步进精密驱动器的研究背景及研究进展 | 第18-24页 |
| 1.5 本论文的主要研究内容 | 第24-26页 |
| 第二章 压电步进驱动器基本理论及工作原理 | 第26-41页 |
| 2.1 压电叠堆的工作特性 | 第26-33页 |
| 2.1.1 压电效应及基本工作原理 | 第26-27页 |
| 2.1.2 电容特性 | 第27-28页 |
| 2.1.3 响应特性 | 第28-29页 |
| 2.1.4 迟滞特性 | 第29页 |
| 2.1.5 力学特性 | 第29-33页 |
| 2.1.6 分辨率和重复性 | 第33页 |
| 2.2 压电步进驱动的工作原理 | 第33-40页 |
| 2.2.1 步进运动的基本原理 | 第33-34页 |
| 2.2.2 外驱动型压电步进驱动工作原理 | 第34-35页 |
| 2.2.3 内驱动型压电步进驱动工作原理 | 第35-37页 |
| 2.2.4 压电步进驱动的正反向推力工作原理 | 第37-40页 |
| 2.3 本章小结 | 第40-41页 |
| 第三章 外驱动型压电步进精密驱动器的设计及特性研究 | 第41-69页 |
| 3.1 引言 | 第41页 |
| 3.2 外驱动型压电步进精密驱动器的结构设计 | 第41-47页 |
| 3.2.1 总体结构设计及工作原理分析 | 第42-43页 |
| 3.2.2 箝位结构设计及分析 | 第43-46页 |
| 3.2.3 驱动结构设计及运动分析 | 第46页 |
| 3.2.4 预紧结构设计与分析 | 第46-47页 |
| 3.3 动力学分析 | 第47-56页 |
| 3.3.1 步进运动过程的动力学分析 | 第48-50页 |
| 3.3.2 箝位结构的动力学及其有限元模型分析 | 第50-53页 |
| 3.3.3 驱动结构的动力学及其有限元模型分析 | 第53-56页 |
| 3.4 外驱动型压电步进精密驱动器的特性研究 | 第56-66页 |
| 3.4.1 箝位特性研究 | 第56-60页 |
| 3.4.2 驱动特性研究 | 第60-62页 |
| 3.4.3 系统频率特性研究 | 第62-65页 |
| 3.4.4 分辨率特性研究 | 第65页 |
| 3.4.5 驱动速度特性研究 | 第65-66页 |
| 3.5 外驱动型压电步进精密驱动器的影响因素分析 | 第66-68页 |
| 3.5.1 设计因素 | 第66页 |
| 3.5.2 环境振动 | 第66-67页 |
| 3.5.3 摩擦阻尼 | 第67页 |
| 3.5.4 外界温度 | 第67-68页 |
| 3.6 本章小结 | 第68-69页 |
| 第四章 内驱动型压电步进精密驱动器的设计及特性研究 | 第69-86页 |
| 4.1 引言 | 第69-70页 |
| 4.2 内驱动型压电步进精密驱动器的基本原理及试验方案 | 第70-76页 |
| 4.2.1 基本工作原理及试验结构 | 第70-71页 |
| 4.2.2 工作参数分析 | 第71-73页 |
| 4.2.3 试验机构制作 | 第73-74页 |
| 4.2.4 试验测量 | 第74-76页 |
| 4.3 内驱动型压电步进精密驱动器的结构设计及工作原理分析 | 第76-79页 |
| 4.3.1 内驱动型压电步进精密驱动器的内部总体结构 | 第76-78页 |
| 4.3.2 内驱动型压电步进精密驱动器的工作过程分析 | 第78-79页 |
| 4.4 内驱动型压电步进精密驱动器的特性研究 | 第79-85页 |
| 4.4.1 实验装置及测量系统 | 第79-80页 |
| 4.4.2 内驱动型压电步进精密驱动器的特性研究 | 第80-85页 |
| 4.5 本章小结 | 第85-86页 |
| 第五章 压电步进旋转精密驱动器的设计及特性研究 | 第86-103页 |
| 5.1 引言 | 第86-87页 |
| 5.2 电磁箝位型压电步进旋转精密驱动器的基本原理及实验 | 第87-91页 |
| 5.2.1 基本工作原理 | 第87-88页 |
| 5.2.2 结构分析 | 第88-89页 |
| 5.2.3 实验测量 | 第89-91页 |
| 5.3 内箝位型压电步进旋转精密驱动器结构设计及特性研究 | 第91-101页 |
| 5.3.1 总体结构及工作原理 | 第91-92页 |
| 5.3.2 箝位结构及运动分析 | 第92-94页 |
| 5.3.3 旋转结构及运动分析 | 第94-97页 |
| 5.3.4 实验及特性研究 | 第97-101页 |
| 5.4 本章小结 | 第101-103页 |
| 第六章 压电步进精密驱动器的控制系统研究 | 第103-116页 |
| 6.1 压电步进精密驱动器的控制时序 | 第103-106页 |
| 6.1.1 控制时序关系及工作原理 | 第103-105页 |
| 6.1.2 控制信号的波形修正 | 第105-106页 |
| 6.2 压电步进精密驱动器的控制系统原理 | 第106-107页 |
| 6.3 数字控制原理 | 第107页 |
| 6.4 高精密压电驱动电路设计 | 第107-112页 |
| 6.4.1 稳压电源设计 | 第107-110页 |
| 6.4.2 电压和功率放大电路 | 第110-112页 |
| 6.5 串行通信集成控制系统 | 第112-115页 |
| 6.6 本章小结 | 第115-116页 |
| 第七章 结论 | 第116-119页 |
| 7.1 论文总结 | 第116-118页 |
| 7.2 论文创新点 | 第118-119页 |
| 参考文献 | 第119-129页 |
| 攻读博士期间发表的学术论文 | 第129-130页 |
| 摘要 | 第130-134页 |
| ABSTRACT | 第134页 |
| 致谢 | 第139页 |
