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外延SnO2基半导体薄膜的结构及磁、光、电性能的研究

中文摘要第4-5页
ABSTRACT第5-6页
第一章 综述第9-20页
    1.1 半导体自旋电子学与稀磁半导体第9-13页
        1.1.1 自旋电子学的起源和发展第9页
        1.1.2 稀磁半导体材料的性质第9-11页
        1.1.3 氧化物稀磁半导体铁磁性起源的理论背景第11-13页
    1.2 SnO_2基宽带稀磁半导体材料第13-18页
        1.2.1 SnO_2材料简介第13-16页
        1.2.2 SnO_2基宽带稀磁半导体材料的研究背景第16-18页
    1.3 选题依据及本论文的工作第18-20页
第二章 薄膜的制备、结构表征和物性测量第20-35页
    2.1 薄膜的制备第20-24页
        2.1.1 磁控溅射原理第20-21页
        2.1.2 薄膜的制备与退火处理第21-24页
    2.2 薄膜的结构表征和物性测量第24-35页
        2.2.1 薄膜的结构表征第24-30页
        2.2.2 薄膜的物性测量第30-35页
第三章 SnO_2基薄膜的结构和物理性能的应力效应研究第35-59页
    3.1 外延纯SnO_2薄膜的制备与物性研究第35-42页
        3.1.1 外延纯SnO_2薄膜的结构第35-40页
        3.1.2 外延纯SnO_2薄膜的光学性质第40-42页
    3.2 外延Sn_(0.94)K_(0.06)O_2薄膜的制备与物性研究第42-58页
        3.2.1 外延Sn_(0.94)K_(0.06)O_2薄膜的结构第42-48页
        3.2.2 外延Sn_(0.94)K_(0.06)O_2薄膜的表面形貌第48-49页
        3.2.3 外延Sn_(0.94)K_(0.06)O_2薄膜的成分和价态第49-51页
        3.2.4 外延Sn_(0.94)K_(0.06)O_2薄膜的电学性质第51-52页
        3.2.5 外延Sn_(0.94)K_(0.06)O_2薄膜的光学性质第52-55页
        3.2.6 外延Sn_(0.94)K_(0.06)O_2薄膜的磁学性质第55-57页
        3.2.7 两种应力调控方法的比较:改变薄膜厚度与施加缓冲层第57-58页
    3.3 本章总结第58-59页
第四章 Al掺杂SnO_2薄膜的制备与物性研究第59-69页
    4.1 外延Al掺杂SnO_2薄膜的结构第59-61页
    4.2 外延Al掺杂SnO_2薄膜的光学性质第61页
    4.3 外延Al掺杂SnO_2薄膜的磁学性质第61-65页
    4.4 外延Al掺杂SnO_2薄膜的磁学性质第65-68页
    4.5 外延Al掺杂SnO_2薄膜的铁磁性机制第68页
    4.6 本章总结第68-69页
第五章 结论第69-71页
参考文献第71-77页
攻读硕士学位期间已发表的论文第77-78页
致谢第78-79页

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