磁头弹簧折片组件摩擦清洗工艺的研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 课题来源及研究的目的和意义 | 第8-9页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第8页 |
| 1.1.2 研究的目的和意义 | 第8-9页 |
| 1.2 国内外在该方向的研究现状及分析 | 第9-14页 |
| 1.3 本文研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 摩擦清洗原理研究 | 第15-30页 |
| 2.1 引言 | 第15页 |
| 2.2 磁头和摩擦手指表面形貌研究 | 第15-17页 |
| 2.3 磁头表面脏污分析 | 第17-24页 |
| 2.4 磁头表面磨损分析 | 第24-28页 |
| 2.5 HGA摩擦清洗原理研究 | 第28-29页 |
| 2.6 本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 摩擦清洗夹具设计 | 第30-47页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 摩擦清洗工序研究 | 第30-34页 |
| 3.3 摩擦清洗夹具的设计 | 第34-39页 |
| 3.4 新夹具的效果验证 | 第39-46页 |
| 3.4.1 对新夹具的操作性影响 | 第40页 |
| 3.4.2 对低倍镜Yield的影响 | 第40-41页 |
| 3.4.3 对高倍镜Yield的影响 | 第41-42页 |
| 3.4.4 对PSA/RSA和LG的影响 | 第42-45页 |
| 3.4.5 其它效果对比验证 | 第45-46页 |
| 3.5 本章小结 | 第46-47页 |
| 第4章 摩擦清洗手指设计 | 第47-60页 |
| 4.1 引言 | 第47页 |
| 4.2 残留脏污原因分析 | 第47-50页 |
| 4.3 摩擦清洗手指设计 | 第50-54页 |
| 4.4 新摩擦手指效果验证 | 第54-59页 |
| 4.4.1 对低倍镜Yield的影响 | 第55-56页 |
| 4.4.2 对高倍镜Yield的影响 | 第56页 |
| 4.4.3 对PSA/RSA和LG的影响 | 第56-59页 |
| 4.5 本章小结 | 第59-60页 |
| 结论 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 个人简历 | 第66页 |
