| 摘要 | 第8-9页 |
| Abstract | 第9-10页 |
| 第1章 绪论 | 第13-18页 |
| 1.1 课题的研究背景及来源 | 第13页 |
| 1.2 课题研究目的及意义 | 第13-14页 |
| 1.3 真空退火温度控制系统的发展现状 | 第14-16页 |
| 1.4 本论文的研究内容 | 第16-17页 |
| 1.5 本章小结 | 第17-18页 |
| 第2章 真空退火炉主体结构与温度控制分析 | 第18-26页 |
| 2.1 真空退火炉结构分析 | 第18-21页 |
| 2.1.1 炉体及内部加热元件 | 第18-19页 |
| 2.1.2 真空系统 | 第19-20页 |
| 2.1.3 强冷系统和冷却水系统 | 第20页 |
| 2.1.4 电气控制系统 | 第20-21页 |
| 2.2 真空退火炉工艺过程及工艺参数 | 第21-22页 |
| 2.2.1 真空退火炉的工艺过程 | 第21页 |
| 2.2.2 真空退火炉主要工艺参数 | 第21-22页 |
| 2.3 真空退火炉温度控制系统需求分析 | 第22页 |
| 2.4 真空退火炉温度控制系统硬件设计 | 第22-25页 |
| 2.4.1 系统硬件结构 | 第22-24页 |
| 2.4.2 加热系统原理分析及硬件实现 | 第24-25页 |
| 2.5 本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 真空退火炉单温区温度控制算法研究 | 第26-43页 |
| 3.1 真空退火炉单温区温度控制模型分析 | 第26-30页 |
| 3.1.1 真空退火炉热传导分析 | 第26-29页 |
| 3.1.2 温度控制系统辨识 | 第29-30页 |
| 3.2 PID控制算法 | 第30-32页 |
| 3.2.1 PID控制原理 | 第30-31页 |
| 3.2.2 数字PID控制 | 第31-32页 |
| 3.3 模糊神经网络控制理论 | 第32-33页 |
| 3.3.1 模糊控制理论 | 第32-33页 |
| 3.3.2 模糊控制和神经网络的融合 | 第33页 |
| 3.4 真空退火炉单温区模糊神经网络PID控制器的设计 | 第33-39页 |
| 3.4.1 单温区模糊神经网络PID控制器的设计原理 | 第33-34页 |
| 3.4.2 单温区模糊神经网络结构设计 | 第34-38页 |
| 3.4.3 真空退火炉单温区模糊神经网络PID控制的学习算法 | 第38-39页 |
| 3.5 真空退火炉单温区模糊神经网络PID器仿真分析 | 第39-41页 |
| 3.6 总结分析 | 第41-42页 |
| 3.7 本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 真空退火炉多温区解耦控制策略研究 | 第43-55页 |
| 4.1 解耦控制的原理 | 第43-44页 |
| 4.2 真空退火炉多温区解耦控制系统的设计思路 | 第44-45页 |
| 4.3 真空退火炉多温区解耦控制结构的设计 | 第45-48页 |
| 4.3.1 对角矩阵解耦方法 | 第45-46页 |
| 4.3.2 真空退火炉多温区解耦控制结构的确定 | 第46-48页 |
| 4.4 真空退火炉多温区的解耦网络求解及仿真分析 | 第48-54页 |
| 4.4.1 真空退火炉多温区解耦网络求解 | 第48-49页 |
| 4.4.2 真空退火炉多温区解耦控制仿真分析 | 第49-54页 |
| 4.5 本章小结 | 第54-55页 |
| 第5章 真空退火炉温度控制的实现与运行结果分析 | 第55-65页 |
| 5.1 真空退火炉监控软件的结构框架 | 第55页 |
| 5.2 人机界面设计 | 第55-59页 |
| 5.2.1 系统工况画面 | 第55-56页 |
| 5.2.2 温度控制画面 | 第56-57页 |
| 5.2.3 温控曲线画面 | 第57页 |
| 5.2.4 报警画面 | 第57-58页 |
| 5.2.5 历史报表画面 | 第58-59页 |
| 5.3 真空退火炉温度控制算法的实现 | 第59-60页 |
| 5.4 真空退火炉温度控制系统运行结果分析 | 第60-64页 |
| 5.4.1 真空退火炉调试分析 | 第60-61页 |
| 5.4.2 真空退火炉实时曲线分析 | 第61-62页 |
| 5.4.3 真空退火炉运行数据分析 | 第62-64页 |
| 5.5 本章小结 | 第64-65页 |
| 总结与展望 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 附录A 攻读学位期间所发表的学术论文目录 | 第72页 |
