大功率射频负氢离子源射频系统研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 1 绪论 | 第12-29页 |
| 1.1 研究背景与课题来源 | 第12-14页 |
| 1.2 大功率RF负离子源及国内外研究现状 | 第14-21页 |
| 1.3 HUST激励器实验装置 | 第21-24页 |
| 1.4 HUST激励器实验装置的RF系统 | 第24-26页 |
| 1.5 本文的主要研究内容和主要创新点 | 第26-29页 |
| 2 激励器等效阻抗 | 第29-46页 |
| 2.1 引言 | 第29-30页 |
| 2.2 ICP变压器模型 | 第30-32页 |
| 2.3 简化的激励器计算模型 | 第32-37页 |
| 2.4 计算激励器等效阻抗 | 第37-45页 |
| 2.5 本章小结 | 第45-46页 |
| 3 阻抗匹配电路的设计 | 第46-67页 |
| 3.1 引言 | 第46-48页 |
| 3.2 阻抗匹配原理 | 第48-50页 |
| 3.3 L型和变压器型阻抗匹配电路 | 第50-57页 |
| 3.4 两种类型阻抗匹配电路的对比 | 第57-61页 |
| 3.5 阻抗匹配电路的一些其他形式 | 第61-63页 |
| 3.6 线圈匝数与阻抗匹配电路的电气要求 | 第63-65页 |
| 3.7 本章小结 | 第65-67页 |
| 4 等离子体激发实验 | 第67-87页 |
| 4.1 概述 | 第67-68页 |
| 4.2 阻抗匹配电路的调谐 | 第68-71页 |
| 4.3 等离子体激发功率 | 第71-78页 |
| 4.4 等离子体诊断 | 第78-82页 |
| 4.5 等离子体熄灭 | 第82-83页 |
| 4.6 启动灯丝的偏置电流 | 第83-84页 |
| 4.7 带法拉第屏蔽的等离子体激发 | 第84-85页 |
| 4.8 本章小结 | 第85-87页 |
| 5 在线阻抗匹配调谐 | 第87-105页 |
| 5.1 引言 | 第87-88页 |
| 5.2 阻抗匹配电路的实现与运行 | 第88-93页 |
| 5.3 阻抗匹配状态 | 第93-100页 |
| 5.4 在线阻抗匹配调谐的方法 | 第100-103页 |
| 5.5 本章小结 | 第103-105页 |
| 6 总结和展望 | 第105-109页 |
| 6.1 本文的主要工作 | 第105-106页 |
| 6.2 未来工作的展望 | 第106-109页 |
| 致谢 | 第109-111页 |
| 参考文献 | 第111-117页 |
| 附录 攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第117页 |
