| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 1. 绪论 | 第11-18页 |
| 1.1 研究背景和研究意义 | 第11-12页 |
| 1.1.1 柔性不锈钢衬底薄膜太阳能电池 | 第11页 |
| 1.1.2 不锈钢衬底表面性能对电池的影响 | 第11-12页 |
| 1.2 太阳能电池柔性不锈钢衬底表面研究现状 | 第12-13页 |
| 1.2.1 柔性不锈钢衬底表面性能要求与改善指标 | 第12页 |
| 1.2.2 柔性不锈钢衬底表面研究现状 | 第12-13页 |
| 1.3 不锈钢表面抛光技术研究现状 | 第13-16页 |
| 1.3.1 平面磨削技术 | 第13-14页 |
| 1.3.2 可控柔体抛光 | 第14-15页 |
| 1.3.3 化学机械抛光 | 第15-16页 |
| 1.3.4 电化学机械抛光 | 第16页 |
| 1.4 论文研究内容和结构 | 第16-18页 |
| 2. 电化学机械抛光机理分析 | 第18-31页 |
| 2.1 电化学加工(Electrochemical Machining,ECM) | 第18-23页 |
| 2.1.1 电极极化 | 第18-19页 |
| 2.1.2 阳极钝化 | 第19-21页 |
| 2.1.3 工艺参数 | 第21-23页 |
| 2.2 磨料光整加工(Abrasive Machining,AM) | 第23页 |
| 2.2.1 磨料加工类型 | 第23页 |
| 2.3 材料去除机理 | 第23-30页 |
| 2.3.1 ECM材料去除模型 | 第23-25页 |
| 2.3.2 机械抛光材料去除模型 | 第25-28页 |
| 2.3.3 电化学机械抛光材料去除模型 | 第28-30页 |
| 2.4 本章小结 | 第30-31页 |
| 3. 电化学机械抛光实验 | 第31-51页 |
| 3.1 实验设备和方法 | 第31-34页 |
| 3.1.1 系统组成 | 第31-33页 |
| 3.1.2 实验设计方法(Design of Experiment,DOE) | 第33-34页 |
| 3.2 复合阴极工具制造 | 第34-38页 |
| 3.3 ECM和MP正交实验 | 第38-46页 |
| 3.4 复合抛光实验 | 第46-47页 |
| 3.5 测量仪器 | 第47-49页 |
| 3.6 本章小结 | 第49-51页 |
| 4. 电化学机械抛光实验结果与分析 | 第51-70页 |
| 4.1 复合抛光柔性不锈钢衬底的指标结果 | 第51-53页 |
| 4.2 Ra(μm)与MRR(g/min)回归模型建立 | 第53-59页 |
| 4.3 拟合优度判断与显著性检验 | 第59-60页 |
| 4.4 工艺参数对Ra与MRR影响分析 | 第60-69页 |
| 4.4.1 可视化分析 | 第60-67页 |
| 4.4.2 电压U和负载P的交互作用 | 第67-69页 |
| 4.5 本章小结 | 第69-70页 |
| 5. 结论与展望 | 第70-72页 |
| 5.1 结论 | 第70-71页 |
| 5.2 展望 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 攻读学位期间取得的研究成果 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77-79页 |
