| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 符号对照表 | 第11-12页 |
| 缩略语对照表 | 第12-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-19页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第15-16页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第16-17页 |
| 1.3 论文内容安排 | 第17-19页 |
| 第二章 光谱仪的原理及组成 | 第19-25页 |
| 2.1 光谱仪的原理 | 第19-20页 |
| 2.2 光谱仪的结构 | 第20-24页 |
| 2.2.1 ICP高频发生器 | 第20页 |
| 2.2.2 进样系统 | 第20-22页 |
| 2.2.3 分光系统 | 第22-23页 |
| 2.2.4 扫描机构 | 第23-24页 |
| 2.2.5 测量与控制系统 | 第24页 |
| 2.3 本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 下位机硬件电路与固件设计 | 第25-51页 |
| 3.1 硬件电路设计 | 第25-38页 |
| 3.1.1 光电检测系统电路设计 | 第25-29页 |
| 3.1.2 FPGA与W5100构成的控制与通信系统电路设计 | 第29-33页 |
| 3.1.3 气路控制部分电路设计 | 第33-36页 |
| 3.1.4 气体泄漏检测电路设计 | 第36-38页 |
| 3.2 下位机固件总体设计 | 第38-50页 |
| 3.2.1 W5100模块设计 | 第38-41页 |
| 3.2.2 波长电机指数型加减速模型 | 第41-45页 |
| 3.2.3 波长电机控制模块设计 | 第45-49页 |
| 3.2.4 DA模块 | 第49-50页 |
| 3.3 本章小结 | 第50-51页 |
| 第四章 光谱分析及性能测试 | 第51-69页 |
| 4.1 光谱分析 | 第51-57页 |
| 4.1.1 光谱分析方法 | 第51页 |
| 4.1.2 光谱分析系统模型的建立 | 第51-55页 |
| 4.1.3 波长定位系数的计算 | 第55-57页 |
| 4.2 ICP扫描光谱仪的性能测试 | 第57-67页 |
| 4.2.1 光谱仪下位机的硬件与固件测试 | 第57-62页 |
| 4.2.2 仪器谱线定位重复性测试 | 第62页 |
| 4.2.3 六种元素的检出限测试 | 第62-67页 |
| 4.3 本章小结 | 第67-69页 |
| 第五章 总结与展望 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 致谢 | 第75-77页 |
| 作者简介 | 第77-78页 |