| 致谢 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 第1章 绪论 | 第14-32页 |
| 1.1 研究背景 | 第14-16页 |
| 1.2 微纳结构测量技术 | 第16-19页 |
| 1.2.1 接触式轮廓仪 | 第16-17页 |
| 1.2.2 非接触式测量技术 | 第17-18页 |
| 1.2.3 原子力和扫描隧道显微测量技术 | 第18-19页 |
| 1.3 微纳结构测量研究现状 | 第19-25页 |
| 1.3.1 大面积、大行程高精度测量技术 | 第19-22页 |
| 1.3.2 复杂难测微纳结构的快速测量技术 | 第22-25页 |
| 1.4 微纳结构在位测量研究现状 | 第25-28页 |
| 1.5 论文的研究意义及研究内容 | 第28-31页 |
| 1.5.1 论文的研究意义与来源 | 第28-29页 |
| 1.5.2 论文主要研究内容 | 第29-31页 |
| 1.6 本章小结 | 第31-32页 |
| 第2章 面向在位测量的二维大范围微纳定位平台 | 第32-51页 |
| 2.1 引言 | 第32-33页 |
| 2.2 结构设计及运动学分析 | 第33-36页 |
| 2.2.1 微纳米定位平台结构设计 | 第33-34页 |
| 2.2.2 运动学分析 | 第34-36页 |
| 2.3 静力学及动力学建模 | 第36-46页 |
| 2.3.1 基于柔度矩阵法的定位平台全柔度模型 | 第37-42页 |
| 2.3.2 微纳定位平台放大比计算 | 第42-43页 |
| 2.3.3 工作空间评估及栅格扫描实观 | 第43-44页 |
| 2.3.4 动力学建模 | 第44-46页 |
| 2.4 有限元及实验验证 | 第46-50页 |
| 2.4.1 有限元验证 | 第46-48页 |
| 2.4.2 实验验证 | 第48-50页 |
| 2.5 本章小结 | 第50-51页 |
| 第3章 基于扫描隧道效应的快速探头伺服测量技术 | 第51-69页 |
| 3.1 引言 | 第51-52页 |
| 3.2 微纳结构形貌测量探头及控制 | 第52-56页 |
| 3.2.1 形貌测量探头组成及原理 | 第52-53页 |
| 3.2.2 探针对测量形貌的影响 | 第53-55页 |
| 3.2.3 测量系统组成 | 第55-56页 |
| 3.3 快速探头伺服测量技术 | 第56-63页 |
| 3.3.1 扫描隧道效应及深沟槽微结构的测量 | 第56-58页 |
| 3.3.2 基于反对称变换的快速伺服测量技术 | 第58-63页 |
| 3.4 飞刀切削菱形阵列的在位快速测量 | 第63-67页 |
| 3.5 本章小结 | 第67-69页 |
| 第4章 金刚石切削微纳结构的在位螺旋形貌测量技术 | 第69-90页 |
| 4.1 引言 | 第69-70页 |
| 4.2 精密在位测量系统及评估 | 第70-74页 |
| 4.2.1 系统组成 | 第70-72页 |
| 4.2.2 系统评估 | 第72-74页 |
| 4.3 扫描探针的自动对中策略 | 第74-77页 |
| 4.4 平面复眼透镜的在位螺旋测量 | 第77-79页 |
| 4.5 曲面复眼透镜的空间在位螺旋测量技术 | 第79-89页 |
| 4.5.1 空间在位螺旋测量原理 | 第80-84页 |
| 4.5.2 空间在位螺旋测量实验 | 第84-89页 |
| 4.6 本章小结 | 第89-90页 |
| 第5章 加工测量一体化形貌误差在位评估技术及应用 | 第90-114页 |
| 5.1 引言 | 第90-92页 |
| 5.2 加工测量一体化形貌误差在位评估模型 | 第92-102页 |
| 5.2.1 基于单点金刚石切削的微纳结构表面创成 | 第94-97页 |
| 5.2.2 基于隧道效应的在位螺旋测量误差估计 | 第97-100页 |
| 5.2.3 面型匹配和测量形貌误差表征 | 第100-102页 |
| 5.3 模型验证 | 第102-108页 |
| 5.3.1 误差源对形貌误差在位评估的影响分析 | 第103-105页 |
| 5.3.2 实验验证 | 第105-108页 |
| 5.4 微透镜阵列的快速刀具伺服加工和快速探头伺服测量一体化 | 第108-112页 |
| 5.5 本章小结 | 第112-114页 |
| 第6章 总结与展望 | 第114-119页 |
| 6.1 论文总结 | 第114-116页 |
| 6.2 论文创新点 | 第116-118页 |
| 6.3 研究展望 | 第118-119页 |
| 参考文献 | 第119-131页 |
| 作者简历及攻读博士学位期间的成果 | 第131-133页 |