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基于空间光调制器的飞秒激光并行加工技术研究

摘要第1-7页
ABSTRACT第7-9页
目录第9-12页
第一章 绪论第12-34页
   ·激光微纳米制造技术第12-13页
   ·激光双光子加工技术发展现状第13-18页
     ·激多双光子加工技术原理第14-17页
     ·双光子聚合加工微纳结构的过程及优点第17-18页
   ·双光子加工常用材料第18-19页
     ·激光双光子加工技术的应用第19-24页
     ·微光学器件第19-20页
     ·微机械器件第20-21页
     ·微流体器件及片上系统第21页
     ·生物医学领域第21-22页
     ·光子晶体加工第22-23页
     ·超材料加工第23-24页
   ·飞秒激光双光子聚合加工技术的限制因素第24-30页
     ·激光双光子加工技术的分辨率第24-28页
     ·激光双光子加工技术的效率第28-30页
   ·空间光调制技术在双光子聚合加工领域的应用第30-32页
   ·课题的意义及主要研究内容第32-34页
第二章 激光调制技术第34-54页
   ·空间光调制器介绍第34-35页
   ·空间光调制器的基本结构第35-38页
     ·数字微镜器件(Digital Micromirror Device,DMD)第35-37页
     ·硅基液晶(Liquid Crystal on Silicon,LCoS)空间光调制器第37-38页
   ·LCOS空间光调制器的理论分析第38-42页
   ·相位分布模型第42-43页
   ·计算全息算法理论和设计第43-53页
     ·计算全息分类第43-44页
     ·常用的计算全息算法第44-50页
     ·三种计算全息算法的比较第50-53页
   ·本章小结第53-54页
第三章 基于光调制技术的多焦点阵列并行加工第54-76页
   ·多焦点飞秒激光并行加工的研究背景和进展第54-55页
   ·多焦点阵列的设计和生成第55-57页
   ·微透镜阵列的并行加工和测试第57-62页
     ·微透镜阵列的并行加工第57-61页
     ·微透镜阵列的测试第61-62页
   ·光子晶体结构的并行加工第62-66页
     ·木堆式光子晶体结构的加工第62-64页
     ·三维螺旋型光子晶体结构的加工第64-66页
   ·多光点并行加工的限制因素第66-74页
     ·多光点均一性问题第66-71页
     ·多光点并行加工效率的限制第71-73页
     ·多光点并行加工分辨率的问题第73-74页
   ·本章小结第74-76页
第四章 基于光调制技术的投影飞秒激光双光子并行加工第76-89页
   ·激光投影加工技术研究背景及进展第76-78页
   ·线单元投影并行加工第78-81页
   ·面单元投影并行加工第81-84页
   ·动态并行加工设计及实验第84-86页
   ·三维全息设计方法第86-88页
   ·本章小结及展望第88-89页
第五章 飞秒贝塞尔光束调制及微管道结构加工和应用第89-115页
   ·贝塞尔光束及其应用第89-93页
     ·贝塞尔光束的特性及产生方法第89-91页
     ·贝塞尔光束应用第91-93页
   ·飞秒贝塞尔光束的调制第93-95页
     ·贝塞尔光束用于微圆环结构的加工第95-101页
     ·贝塞尔光束加工微圆环结构第95-100页
     ·多贝塞尔光束并行加工技术第100-101页
   ·贝塞尔光束缩束用于长管道结构的加工第101-103页
   ·贝塞尔光束用于功能微管道结构的加工第103-114页
     ·Bessel光束聚焦基本单元分析第104-105页
     ·管道结构的可控加工第105-107页
     ·微管道结构直径的控制及变截面微管道结构的加工第107-109页
     ·管道结构开口的控制第109页
     ·微管道结构的应用第109-114页
   ·本章小结第114-115页
第六章 总结及展望第115-118页
   ·论文的主要研究成果第115-116页
   ·论文研究工作的创新之处第116-117页
   ·论文工作展望第117-118页
参考文献第118-133页
致谢第133-134页
在读期间发表的学术论文与取得的其他研究成果第134页

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