摘要 | 第1-7页 |
ABSTRACT | 第7-9页 |
目录 | 第9-12页 |
第一章 绪论 | 第12-34页 |
·激光微纳米制造技术 | 第12-13页 |
·激光双光子加工技术发展现状 | 第13-18页 |
·激多双光子加工技术原理 | 第14-17页 |
·双光子聚合加工微纳结构的过程及优点 | 第17-18页 |
·双光子加工常用材料 | 第18-19页 |
·激光双光子加工技术的应用 | 第19-24页 |
·微光学器件 | 第19-20页 |
·微机械器件 | 第20-21页 |
·微流体器件及片上系统 | 第21页 |
·生物医学领域 | 第21-22页 |
·光子晶体加工 | 第22-23页 |
·超材料加工 | 第23-24页 |
·飞秒激光双光子聚合加工技术的限制因素 | 第24-30页 |
·激光双光子加工技术的分辨率 | 第24-28页 |
·激光双光子加工技术的效率 | 第28-30页 |
·空间光调制技术在双光子聚合加工领域的应用 | 第30-32页 |
·课题的意义及主要研究内容 | 第32-34页 |
第二章 激光调制技术 | 第34-54页 |
·空间光调制器介绍 | 第34-35页 |
·空间光调制器的基本结构 | 第35-38页 |
·数字微镜器件(Digital Micromirror Device,DMD) | 第35-37页 |
·硅基液晶(Liquid Crystal on Silicon,LCoS)空间光调制器 | 第37-38页 |
·LCOS空间光调制器的理论分析 | 第38-42页 |
·相位分布模型 | 第42-43页 |
·计算全息算法理论和设计 | 第43-53页 |
·计算全息分类 | 第43-44页 |
·常用的计算全息算法 | 第44-50页 |
·三种计算全息算法的比较 | 第50-53页 |
·本章小结 | 第53-54页 |
第三章 基于光调制技术的多焦点阵列并行加工 | 第54-76页 |
·多焦点飞秒激光并行加工的研究背景和进展 | 第54-55页 |
·多焦点阵列的设计和生成 | 第55-57页 |
·微透镜阵列的并行加工和测试 | 第57-62页 |
·微透镜阵列的并行加工 | 第57-61页 |
·微透镜阵列的测试 | 第61-62页 |
·光子晶体结构的并行加工 | 第62-66页 |
·木堆式光子晶体结构的加工 | 第62-64页 |
·三维螺旋型光子晶体结构的加工 | 第64-66页 |
·多光点并行加工的限制因素 | 第66-74页 |
·多光点均一性问题 | 第66-71页 |
·多光点并行加工效率的限制 | 第71-73页 |
·多光点并行加工分辨率的问题 | 第73-74页 |
·本章小结 | 第74-76页 |
第四章 基于光调制技术的投影飞秒激光双光子并行加工 | 第76-89页 |
·激光投影加工技术研究背景及进展 | 第76-78页 |
·线单元投影并行加工 | 第78-81页 |
·面单元投影并行加工 | 第81-84页 |
·动态并行加工设计及实验 | 第84-86页 |
·三维全息设计方法 | 第86-88页 |
·本章小结及展望 | 第88-89页 |
第五章 飞秒贝塞尔光束调制及微管道结构加工和应用 | 第89-115页 |
·贝塞尔光束及其应用 | 第89-93页 |
·贝塞尔光束的特性及产生方法 | 第89-91页 |
·贝塞尔光束应用 | 第91-93页 |
·飞秒贝塞尔光束的调制 | 第93-95页 |
·贝塞尔光束用于微圆环结构的加工 | 第95-101页 |
·贝塞尔光束加工微圆环结构 | 第95-100页 |
·多贝塞尔光束并行加工技术 | 第100-101页 |
·贝塞尔光束缩束用于长管道结构的加工 | 第101-103页 |
·贝塞尔光束用于功能微管道结构的加工 | 第103-114页 |
·Bessel光束聚焦基本单元分析 | 第104-105页 |
·管道结构的可控加工 | 第105-107页 |
·微管道结构直径的控制及变截面微管道结构的加工 | 第107-109页 |
·管道结构开口的控制 | 第109页 |
·微管道结构的应用 | 第109-114页 |
·本章小结 | 第114-115页 |
第六章 总结及展望 | 第115-118页 |
·论文的主要研究成果 | 第115-116页 |
·论文研究工作的创新之处 | 第116-117页 |
·论文工作展望 | 第117-118页 |
参考文献 | 第118-133页 |
致谢 | 第133-134页 |
在读期间发表的学术论文与取得的其他研究成果 | 第134页 |