| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 主要符号对照表 | 第10-11页 |
| 第1章 引言 | 第11-28页 |
| ·压电材料与压电薄膜 | 第11-13页 |
| ·外延压电薄膜 | 第13-15页 |
| ·锆钛酸铅系外延压电薄膜 | 第15-20页 |
| ·概述 | 第15-16页 |
| ·研究进展 | 第16-20页 |
| ·铌酸钾钠系外延压电薄膜 | 第20-25页 |
| ·概述 | 第20-22页 |
| ·研究进展 | 第22-25页 |
| ·课题研究的意义及主要内容 | 第25-28页 |
| 第2章 薄膜的制备与表征 | 第28-45页 |
| ·衬底选择 | 第28-29页 |
| ·溶胶凝胶法制膜 | 第29-33页 |
| ·溶胶凝胶工艺 | 第30-32页 |
| ·快速热处理 | 第32-33页 |
| ·形貌与结构表征 | 第33-41页 |
| ·形貌表征（SEM、TEM等） | 第33-34页 |
| ·相结构（XRD、拉曼光谱等） | 第34-37页 |
| ·畴结构（PFM） | 第37-41页 |
| ·电学性能表征 | 第41-44页 |
| ·压电性能 | 第41-43页 |
| ·铁电性能 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第3章 PZT基外延压电薄膜准同型相界的偏移 | 第45-65页 |
| ·引言 | 第45-46页 |
| ·实验流程 | 第46页 |
| ·（111）取向PNZT外延薄膜的形貌与相结构 | 第46-51页 |
| ·（111）取向PNZT外延薄膜的电学性能 | 第51-55页 |
| ·铁电性能 | 第51-52页 |
| ·压电性能 | 第52-55页 |
| ·（111）取向PNZT外延薄膜的畴结构 | 第55-58页 |
| ·（001）取向PNZT外延薄膜的“准同型相界”偏移 | 第58-61页 |
| ·（110）取向PNZT外延薄膜的“准同型相界”偏移 | 第61-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第4章 四方相PNZT外延压电薄膜的结构-性能演化 | 第65-84页 |
| ·引言 | 第65-66页 |
| ·实验流程 | 第66页 |
| ·Pb(Zr_(0.3)Ti_(0.7))_(0.98)Nb_(0.02)O_3薄膜的结构与性能 | 第66-75页 |
| ·形貌与相结构 | 第66-69页 |
| ·畴结构 | 第69-72页 |
| ·压电性能 | 第72-75页 |
| ·四方相区PNZT薄膜的相结构 | 第75-78页 |
| ·四方相区PNZT薄膜的畴结构 | 第78-79页 |
| ·四方相区PNZT薄膜的电学性能 | 第79-81页 |
| ·铁电性能 | 第79-80页 |
| ·压电性能 | 第80-81页 |
| ·演化模型 | 第81-83页 |
| ·本章小结 | 第83-84页 |
| 第5章 KNN系外延压电薄膜的溶胶凝胶法制备 | 第84-97页 |
| ·引言 | 第84页 |
| ·实验流程 | 第84-86页 |
| ·热解温度对KNN系外延压电薄膜结构及性能的影响 | 第86-92页 |
| ·微观结构的热解温度依存性 | 第86-90页 |
| ·电学性能的热解温度依存性 | 第90-92页 |
| ·热解温度效应的机理解释 | 第92-96页 |
| ·本章小结 | 第96-97页 |
| 第6章 KNN系外延薄膜的取向生长与表征 | 第97-116页 |
| ·引言 | 第97页 |
| ·不同取向KNN系外延压电薄膜的形貌和相结构 | 第97-102页 |
| ·不同取向KNN系外延压电薄膜的电学性能 | 第102-106页 |
| ·铁电各向异性 | 第102-104页 |
| ·压电各向异性 | 第104-106页 |
| ·结构-性能关联机制 | 第106-114页 |
| ·本章小结 | 第114-116页 |
| 第7章 结论 | 第116-118页 |
| 参考文献 | 第118-129页 |
| 致谢 | 第129-131页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第131-133页 |
