| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-11页 |
| 注释表 | 第11-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-19页 |
| ·引言 | 第12-13页 |
| ·固结磨料抛光技术研究现状 | 第13-15页 |
| ·固结磨料抛光技术 | 第13-14页 |
| ·冰冻固结磨料抛光技术 | 第14-15页 |
| ·微晶玻璃的超精密抛光研究现状 | 第15-16页 |
| ·课题研究背景和意义 | 第16-17页 |
| ·主要研究目标及内容 | 第17-19页 |
| 第二章 磨料分散工艺的优化实验研究 | 第19-28页 |
| ·引言 | 第19页 |
| ·微细颗粒在液相介质中的分散技术 | 第19-21页 |
| ·微细颗粒在液相介质中的分散及稳定理论 | 第19-20页 |
| ·微细颗粒在液相介质中的分散方法 | 第20-21页 |
| ·微米α-Al_2O_3的细化及其悬浮液的分散稳定性研究 | 第21-27页 |
| ·序言 | 第21页 |
| ·实验准备 | 第21-23页 |
| ·结果分析与讨论 | 第23-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 开槽冰冻固结磨料抛光垫的制备 | 第28-37页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·现有抛光垫表面沟槽样式 | 第28-30页 |
| ·冰冻固结磨料抛光垫开槽方法 | 第30-36页 |
| ·序言 | 第30页 |
| ·利用模具浇注法制备冰冻固结磨料抛光垫 | 第30-33页 |
| ·利用模热压法制备冰冻固结磨料抛光垫 | 第33-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第四章 开槽固结磨料抛光过程中的应力场分析 | 第37-52页 |
| ·引言 | 第37页 |
| ·放射状开槽固结磨料抛光过程的应力场分析 | 第37-48页 |
| ·ANSYS 中应力场有限元模型的建立 | 第37-41页 |
| ·ANSYS 中工件表面等效应力的仿真结果与分析 | 第41-42页 |
| ·ABAQUS 中应力场有限元模型的建立 | 第42-45页 |
| ·ABAQUS 中工件表面等效应力的仿真结果与分析 | 第45-48页 |
| ·栅格状开槽固结磨料抛光过程的应力场分析 | 第48-51页 |
| ·应力场有限元模型的建立 | 第48-50页 |
| ·仿真结果分析与讨论 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第五章 开槽冰冻固结磨料抛光垫的抛光实验研究 | 第52-64页 |
| ·引言 | 第52页 |
| ·放射状沟槽冰冻固结磨料抛光垫的抛光实验研究 | 第52-58页 |
| ·实验设计 | 第52-53页 |
| ·结果分析与讨论 | 第53-58页 |
| ·栅格状沟槽冰冻固结磨料抛光垫的抛光实验研究 | 第58-63页 |
| ·实验设计 | 第58页 |
| ·结果分析与讨论 | 第58-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第六章 总结与展望 | 第64-67页 |
| ·总结 | 第64-65页 |
| ·展望 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 在校期间的研究成果及发表的学术论文 | 第73页 |