新型电化学微纳加工仪器的电控系统设计
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-21页 |
| ·课题来源 | 第14页 |
| ·研究背景与意义 | 第14-16页 |
| ·新型电化学微细加工技术概述 | 第16-18页 |
| ·电化学约束刻蚀剂层技术 | 第16-17页 |
| ·电化学湿印章微加工技术 | 第17-18页 |
| ·纳秒级脉冲电源概述 | 第18页 |
| ·高精度数据采集卡概述 | 第18-19页 |
| ·本文的章节安排 | 第19-21页 |
| 第二章 新型电化学微纳加工方法及理论分析 | 第21-41页 |
| ·约束刻蚀剂层技术 | 第21-23页 |
| ·约束刻蚀剂层技术简介 | 第21页 |
| ·约束刻蚀剂层技术的原理极其特点 | 第21-23页 |
| ·基于琼脂糖凝胶湿印章的电化学微细加工技术 | 第23-24页 |
| ·基于琼脂糖凝胶湿印章技术简介 | 第23-24页 |
| ·基于琼脂糖凝胶湿印章技术特点 | 第24页 |
| ·基于脉冲的新型电化学加工机理 | 第24-39页 |
| ·脉冲应用于电解加工的机理 | 第25-33页 |
| ·脉冲约束刻蚀微纳加工机理 | 第33-39页 |
| ·本章小结 | 第39-41页 |
| 第三章 纳秒级脉冲电源设计 | 第41-70页 |
| ·器件简介和选型 | 第41-52页 |
| ·MOSFET 工作原理和选型 | 第41-49页 |
| ·FPGA 简介和选型 | 第49-52页 |
| ·MOSFET 驱动电路设计 | 第52-59页 |
| ·寄生部分的影响 | 第52-53页 |
| ·PWM 直接驱动 | 第53-55页 |
| ·双极型晶体管推拉式驱动 | 第55-59页 |
| ·纳秒级脉冲电源电路设计和仿真 | 第59-69页 |
| ·纳秒级脉冲电源的设计指标和关键器件 | 第60页 |
| ·纳秒级脉冲电源整体设计 | 第60-61页 |
| ·纳秒级脉冲电源电化学加工部分的实现 | 第61-65页 |
| ·纳秒级脉冲电源的其他部分实现 | 第65-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 第四章 数据采集卡硬件电路设计 | 第70-86页 |
| ·数据采集卡支持总线选择 | 第70-77页 |
| ·ISA 总线和 PCI 总线 | 第71-75页 |
| ·数据采集卡 PCI 接口的实现 | 第75-77页 |
| ·数据采集卡的其他器件实现 | 第77-81页 |
| ·数据采集卡 ADC 实现 | 第78页 |
| ·数据采集卡 DAC 实现 | 第78-79页 |
| ·数据采集卡 DSP 的实现 | 第79-81页 |
| ·数据采集卡的硬件实现 | 第81-85页 |
| ·采集卡的总体设计方案 | 第81-82页 |
| ·采集卡的 PCI 接口电路设计 | 第82-83页 |
| ·存储器连接电路设计 | 第83页 |
| ·模数转换电路设计 | 第83-85页 |
| ·数模转换电路设计 | 第85页 |
| ·本章小结 | 第85-86页 |
| 第五章 微纳电化学加工试验 | 第86-101页 |
| ·电化学纳米加工仪器的总体设计 | 第86-87页 |
| ·基于约束刻蚀剂层技术电化学加工实验 | 第87-90页 |
| ·高精度数据采集卡应用于微纳电化学仪器 | 第87-88页 |
| ·约束刻蚀剂层技术刻蚀加工试验及结果分析 | 第88-90页 |
| ·基于琼脂糖凝胶模版电化学湿印章加工试验 | 第90-99页 |
| ·纳秒级脉冲电源应用于微纳电化学仪器 | 第91-93页 |
| ·基于琼脂糖凝胶模版湿印章技术加工实验系统构建 | 第93页 |
| ·基于琼脂糖凝胶模版湿印章技术加工实验及结果分析 | 第93-99页 |
| ·本章小结 | 第99-101页 |
| 第六章 结束语 | 第101-104页 |
| ·本文工作总结 | 第101-102页 |
| ·后续研究工作 | 第102-104页 |
| 参考文献 | 第104-112页 |
| 致谢 | 第112-113页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第113页 |
