| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-11页 |
| ·引言 | 第7页 |
| ·紫外薄膜研究背景与现状 | 第7-10页 |
| ·本文研究内容 | 第10-11页 |
| 第二章 薄膜理论与膜系设计 | 第11-21页 |
| ·薄膜的特性计算 | 第11-15页 |
| ·对称膜系的等效层 | 第15-16页 |
| ·长波通滤光片的设计理论 | 第16-18页 |
| ·斜入射时的偏振效应 | 第18-21页 |
| 第三章 紫外滤光膜的设计 | 第21-27页 |
| ·薄膜材料的研究 | 第21-22页 |
| ·材料折射率的确定 | 第22-23页 |
| ·膜系设计 | 第23-27页 |
| 第四章 薄膜的制备工艺 | 第27-45页 |
| ·真空设备 | 第27-31页 |
| ·蒸发系统 | 第31-33页 |
| ·膜厚控制系统 | 第33-35页 |
| ·离子辅助系统 | 第35-37页 |
| ·工艺参数的研究 | 第37-42页 |
| ·制备工艺 | 第42-45页 |
| 第五章 测试结果与分析 | 第45-48页 |
| ·光谱性能测试与分析 | 第45-46页 |
| ·稳定性及耐环境测试 | 第46-48页 |
| 结论 | 第48-49页 |
| 致谢 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-51页 |