等离子喷涂氧化铝陶瓷涂层介电性能研究

摘要	第1-6页
ABSTRACT	第6-9页
第1章 绪论	第9-22页
·热喷涂技术的应用	第9-13页
·热喷涂技术进展	第9-10页
·等离子热喷涂的基本原理和应用特点	第10-12页
·等离子喷涂技术的应用	第12-13页
·陶瓷电容元件的概述	第13-17页
·电介质工作机理	第14-17页
·性能特点	第17页
·氧化铝陶瓷简介	第17-19页
·Al_2O_3涂层制备方法和工艺	第19-20页
·本文的目标和研究内容	第20-22页
第2章 实验方法和装置	第22-30页
·大气等离子喷涂设备	第22-23页
·等离子喷涂设备的概述	第23-26页
·等离子电源设备简介	第23页
·等离子工作气体流量监控及控制设备	第23-24页
·热交换器	第24-25页
·送粉器	第25-26页
·涂层制备与基体预处理	第26-27页
·涂层测试设备以及实验条件	第27-30页
第3章 涂层的组织表征	第30-34页
·涂层的金相组织	第30-31页
·涂层X射线衍射分析	第31-33页
·本章小结	第33-34页
第4章 显微硬度与孔隙率的测量	第34-40页
·显微硬度分析以及测量原理	第34-36页
·氧化铝涂层显微硬度值对比	第36-37页
·氧化铝涂层孔隙率的测量	第37-39页
·本章小结	第39-40页
第5章 涂层电学性能测量	第40-45页
·电容器的制备	第40页
·介电常数的测量	第40-41页
·实验结果分析	第41-43页
·空气湿度对氧化铝涂层介电性能的影响	第43页
·本章小结	第43-45页
第6章 展望	第45-46页
结论	第46-47页
参考文献	第47-51页
致谢	第51页