大气状态下基于STM的电场加工试验研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
第1章 绪论	第9-15页
·课题来源及研究的目的和意义	第9-10页
·STM的应用概述	第10页
·STM加工技术的国内外研究概况	第10-13页
·STM单原子操纵技术	第11页
·STM纳米尺度结构加工技术	第11-13页
·STM在纳米加工领域中的优势	第13-14页
·课题的主要研究内容	第14-15页
第2章 STM工作原理及电场加工理论	第15-24页
·引言	第15页
·STM工作原理	第15-17页
·探针与样品之间的场致电子发射	第17-20页
·探针与样品间电场的分布及模拟	第20-23页
·本章小结	第23-24页
第3章 基于STM的纳米加工系统研制	第24-34页
·引言	第24页
·STM电场加工系统的设计	第24-26页
·电场加工系统软件设计	第26-28页
·工作台运动的实现	第26页
·脉冲电压和偏置电压的产生	第26-27页
·软件交互界面的设计	第27-28页
·探针的制备研究	第28-33页
·本章小结	第33-34页
第4章 STM电场加工试验研究	第34-46页
·试验的准备	第34-36页
·金薄膜样品表面上的电场加工试验	第36-40页
·金薄膜表面的电场作用特点	第36-38页
·隧道电流反馈类型和脉冲个数对加工的影响	第38-40页
·单晶硅样品表面上的的电场加工试验	第40-45页
·脉冲电压下隧道电流大小对加工的影响	第41-43页
·偏置电压下隧道电流大小对加工的影响	第43-45页
·本章小结	第45-46页
结论	第46-47页
参考文献	第47-51页
哈尔滨工业大学硕士学位论文原创性声明	第51页
哈尔滨工业大学硕士学位论文使用授权书	第51页
哈尔滨工业大学硕士学位涉密论文管理	第51-52页
致谢	第52页