| 摘要 | 第1-3页 |
| ABSTRACT | 第3-8页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| ·课题研究的意义 | 第8页 |
| ·微电子——MEMS技术 | 第8-10页 |
| ·MEMS特点及应用 | 第8-9页 |
| ·MEMS技术的基本特征 | 第9-10页 |
| ·MEMS硅微加速度计国内外研究现状 | 第10-12页 |
| ·国外研究现状 | 第10-11页 |
| ·国内研究现状 | 第11-12页 |
| ·硅微加速度传感器的应用 | 第12-13页 |
| ·MEMS加速度计的发展趋势 | 第13页 |
| ·本文的研究内容及工作安排 | 第13-15页 |
| 2 压阻式加速度传感器结构的理论分析 | 第15-43页 |
| ·半导体材料的压阻效应及其应变电阻 | 第15-21页 |
| ·压阻效应 | 第15-17页 |
| ·半导体应变电阻 | 第17-19页 |
| ·悬臂梁的弯曲形变 | 第19-21页 |
| ·压阻式加速度传感器 | 第21-28页 |
| ·悬臂梁压阻式加速度传感器的结构 | 第21-23页 |
| ·悬臂梁压阻式加速度计的数学模型 | 第23-25页 |
| ·悬臂梁压阻式加速度计的传感原理 | 第25-28页 |
| ·悬臂梁加速度敏感电阻的制作 | 第28-30页 |
| ·用于测量加速度的直流电桥 | 第30-36页 |
| ·直流电桥的电压灵敏度 | 第32-33页 |
| ·直流桥的非线性误差及其补偿方法 | 第33-36页 |
| ·信号放大电路 | 第36-38页 |
| ·悬臂梁压阻式加速度传感器的机械特性 | 第38-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 3 新型悬臂梁压阻式加速度计量程改进的分析与设计 | 第43-59页 |
| ·量程改进的依据 | 第43页 |
| ·静电力平衡的原理 | 第43-47页 |
| ·静电力的作用 | 第45-46页 |
| ·脉宽调制的静电伺服电路 | 第46-47页 |
| ·差动电容与电场力 | 第47-49页 |
| ·扩程所需的静电力来源 | 第49-50页 |
| ·扩程申请的实现 | 第50-53页 |
| ·扩程时的几点说明 | 第53页 |
| ·加速度传感器与单片机接口的硬件设计 | 第53-57页 |
| ·差动输入模块和调理放大模块 | 第53-54页 |
| ·A/D转换与单片机接口电路 | 第54-56页 |
| ·脉宽调制器 | 第56-57页 |
| ·加速度计的计量拟标定 | 第57页 |
| ·本章小结 | 第57-59页 |
| 4 悬臂梁压阻式加速度计的结构优化与仿真 | 第59-72页 |
| ·悬臂梁压阻式加速度计的仿真 | 第59-63页 |
| ·悬臂梁加速度计的基本参数 | 第59-61页 |
| ·梁膜结合结构的仿真 | 第61-62页 |
| ·固有频率计算与仿真 | 第62-63页 |
| ·悬臂梁加速度计的结构优化 | 第63-65页 |
| ·悬臂梁优化结果与分析 | 第65-67页 |
| ·悬臂梁压阻式加速度计结构参数的确定 | 第67-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 5 压阻式加速度传感器的温度特性 | 第72-81页 |
| ·温度补偿原理 | 第72-73页 |
| ·加速度计的温度补偿方法 | 第73-74页 |
| ·加速度计灵敏度温飘补偿方法 | 第74-75页 |
| ·零点漂移的利用和抑制 | 第75-77页 |
| ·零点电漂移的利用 | 第75-76页 |
| ·零点电漂移的抑制 | 第76-77页 |
| ·灵敏度电压非线性理论分析 | 第77-79页 |
| ·本章小结 | 第79-81页 |
| 6 MEMS器件的制作工艺 | 第81-90页 |
| ·MEMS器件的制作技术 | 第81-84页 |
| ·常用的制作MEMS器件技术 | 第81页 |
| ·超精密加工及特种加工技术 | 第81-82页 |
| ·表面微加工技术 | 第82页 |
| ·体微加工技术 | 第82-83页 |
| ·LIGA技术 | 第83-84页 |
| ·悬臂梁的制作工艺 | 第84-87页 |
| ·双材料微梁阵列的制作工艺 | 第84-85页 |
| ·压阻式加速度传感器的制作工艺 | 第85-87页 |
| ·MEMS的封装技术 | 第87-89页 |
| ·裸片级封装(Die Level) | 第87-88页 |
| ·器件级封装(Device Level) | 第88页 |
| ·圆片级封装(Wafer Level Packaging) | 第88-89页 |
| ·MEMS的封装设备 | 第89页 |
| ·本章小结 | 第89-90页 |
| 7 结论 | 第90-92页 |
| ·完成的工作及创新点 | 第90-91页 |
| ·取得的结果 | 第91页 |
| ·展望 | 第91-92页 |
| 致谢 | 第92-93页 |
| 参考文献 | 第93-96页 |
| 附录 | 第96页 |