| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-29页 |
| ·气敏传感器的概念及其性能指标 | 第9-10页 |
| ·气敏传感器的分类 | 第10-13页 |
| ·金属氧化物半导体气体传感器敏感机理 | 第13-14页 |
| ·原子价控制模型 | 第13页 |
| ·表面电荷层模型 | 第13-14页 |
| ·晶粒间界势垒模型 | 第14页 |
| ·金属氧化物半导体气体传感器现存问题以及研究动态 | 第14-22页 |
| ·优化气敏元件结构 | 第15-17页 |
| ·人工嗅觉系统及电子鼻 | 第17-18页 |
| ·开发新型气敏材料 | 第18-22页 |
| ·TiO_2半导体气敏材料 | 第22-27页 |
| ·TiO_2半导体材料的基本性质 | 第22-23页 |
| ·纳米TiO_2的制备方法 | 第23-25页 |
| ·TiO_2半导体材料的气敏机理 | 第25-26页 |
| ·TiO_2半导体气敏材料的研究现状 | 第26-27页 |
| ·本文研究思路，内容与创新 | 第27-29页 |
| ·研究思路 | 第27页 |
| ·研究内容 | 第27-28页 |
| ·创新点 | 第28-29页 |
| 2 气敏性能检测系统的建立 | 第29-35页 |
| ·测试原理 | 第29页 |
| ·系统组成与使用 | 第29-33页 |
| ·本章小结 | 第33-35页 |
| 3 水热法制备无序TiO_2纳米管对NO_2响应特性 | 第35-44页 |
| ·实验部分 | 第35-39页 |
| ·实验材料与试剂 | 第35页 |
| ·TiO_2纳米管溶胶的制备 | 第35-36页 |
| ·平面微电极薄膜型传感器的制作 | 第36-38页 |
| ·TiO_2纳米管薄膜气敏元件的表征 | 第38页 |
| ·TiO_2薄膜型传感器对NO_2的气敏性能测试 | 第38-39页 |
| ·结果与讨论 | 第39-43页 |
| ·材料表征 | 第39-41页 |
| ·NO_2的气敏特性分析 | 第41-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 4 有序一维TiO_2纳米管阵列材料的NO_2气敏检测 | 第44-58页 |
| ·实验部分 | 第44-46页 |
| ·实验材料与试剂 | 第44页 |
| ·有序TiO_2纳米管阵列的制备 | 第44页 |
| ·TiO_2纳米管阵列气敏元件的制作 | 第44-46页 |
| ·TiO_2纳米管阵列气敏元件的表征 | 第46页 |
| ·TiO_2纳米管阵列气敏元件对NO_2的气敏性能测试 | 第46页 |
| ·结果与讨论 | 第46-55页 |
| ·材料表征 | 第46-48页 |
| ·有序TiO_2纳米管阵列对NO_2气体的气敏性能 | 第48-55页 |
| ·机理探讨 | 第55-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 结论与建议 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
