| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 引言 | 第10-13页 |
| ·课题的意义 | 第10-11页 |
| ·国内外相关领域的研究现状 | 第11-12页 |
| ·本文研究方法和各章节的安排 | 第12-13页 |
| 第二章 ZrO_2与SiO_2薄膜的制备与表征 | 第13-29页 |
| ·引言 | 第13页 |
| ·溶胶-凝胶法的优点和应用现状 | 第13-15页 |
| ·ZrO_2 与SiO_2 胶体的配制 | 第15-18页 |
| ·实验部分 | 第15-16页 |
| ·胶体配制过程的探讨 | 第16-18页 |
| ·ZrO_2/ SiO_2 薄膜的涂膜方法 | 第18-19页 |
| ·薄膜的表征 | 第19-29页 |
| ·椭偏仪 | 第20-26页 |
| ·椭偏仪的原理 | 第20页 |
| ·椭偏仪的模型 | 第20-22页 |
| ·椭偏仪的实验装置与椭偏参数的获取 | 第22-24页 |
| ·椭偏仪的数据处理 | 第24-25页 |
| ·椭偏仪的缺点 | 第25-26页 |
| ·紫外-可见分光光度计 | 第26-27页 |
| ·光学显微镜 | 第27-29页 |
| 第三章 多层高反膜的理论基础与可行性方案的研究 | 第29-43页 |
| ·引言 | 第29-30页 |
| ·薄膜光学特性的计算方法 | 第30-37页 |
| ·单层膜光学特性的计算方法 | 第30-34页 |
| ·多层膜的光学特性的计算方法 | 第34-37页 |
| ·镀制多层高反膜的理论模拟与特性研究 | 第37-42页 |
| ·镀膜材料折射率的的理论模拟 | 第37-38页 |
| ·多层反射膜的特性研究 | 第38-42页 |
| ·理想的多层介质反射膜系的选择 | 第38-40页 |
| ·理想的四分之一波长高反射膜系的特性分析 | 第40-42页 |
| ·小结 | 第42-43页 |
| 第四章 溶胶-凝胶薄膜膜层间渗透行为的研究 | 第43-61页 |
| ·引言 | 第43页 |
| ·单层SiO_2和ZrO_2薄膜的椭偏光谱测量 | 第43-49页 |
| ·实验过程 | 第43-44页 |
| ·薄膜的椭偏参数的分析 | 第44-46页 |
| ·薄膜折射率与透光率的分析 | 第46-48页 |
| ·薄膜表面形貌的观察 | 第48-49页 |
| ·ZrO_2/SiO_2 双层膜膜层间渗透行为的研究 | 第49-53页 |
| ·实验过程 | 第49页 |
| ·ZrO_2/SiO_2 双层膜膜间渗透行为的分析 | 第49-51页 |
| ·SiO_2/ZrO_2 双层膜膜间渗透行为的分析 | 第51-52页 |
| ·ZrO_2/SiO_2 膜间渗透与不渗透两种情况下透光率的比较 | 第52-53页 |
| ·X 射线光电子能谱仪分析ZrO_2/SiO_2 双层膜的成分 | 第53-58页 |
| ·实验过程 | 第53-54页 |
| ·SiO_2/ZrO_2 与ZrO_2/SiO_2 双层膜的XPS 分析 | 第54-56页 |
| ·ZrO_2/SiO_2 双层膜的椭偏光谱分析 | 第56-58页 |
| ·渗透对多层高反膜的影响 | 第58-60页 |
| ·小结 | 第60-61页 |
| 第五章 ZrO_2/SiO_2多层高反膜激光损伤阈值的研究 | 第61-68页 |
| ·引言 | 第61页 |
| ·实验过程 | 第61-62页 |
| ·结果与分析 | 第62-66页 |
| ·单层ZrO_2 与SiO_2 薄膜激光损伤阈值的测试与分析 | 第62-64页 |
| ·ZrO_2/SiO_2 双层膜损伤阈值的测试与分析 | 第64-65页 |
| ·ZrO_2/SiO_2 多层膜损伤阈值的测试与表面分析 | 第65-66页 |
| ·ZrO_2/SiO_2 多层高反膜的样品 | 第66页 |
| ·小结 | 第66-68页 |
| 第六章 全文总结 | 第68-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第75-76页 |
