基于激光划痕法测量膜基结合强度的模拟分析
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-22页 |
| ·课题研究背景 | 第10-13页 |
| ·薄膜与基体间结合界面的类型 | 第11-13页 |
| ·常用的几种薄膜强度测量方法 | 第13-19页 |
| ·划痕法 | 第13-14页 |
| ·激光层裂法 | 第14-15页 |
| ·压痕法 | 第15-17页 |
| ·鼓泡法 | 第17-19页 |
| ·激光划痕法介绍 | 第19-20页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第20-22页 |
| 第二章 激光加载下的温度场和应力场的理论计算 | 第22-28页 |
| ·温度场计算 | 第22-25页 |
| ·傅立叶热传导理论 | 第22-23页 |
| ·固定光源计算模型 | 第23-24页 |
| ·移动激光加载下温度场分布 | 第24-25页 |
| ·应力场计算 | 第25-28页 |
| ·热应力问题 | 第25-26页 |
| ·热应力计算模型 | 第26-28页 |
| 第三章 温度场和应力场的有限元模拟 | 第28-56页 |
| ·有限元法及软件介绍 | 第28-29页 |
| ·ANSYS中应用到的热力学经典理论 | 第29-31页 |
| ·热力学第一定律 | 第29页 |
| ·三种基本热传递方式 | 第29-30页 |
| ·边界条件与初始条件 | 第30-31页 |
| ·有限元模拟分析一般步骤 | 第31-34页 |
| ·前处理 | 第31-32页 |
| ·加载计算 | 第32-33页 |
| ·后处理 | 第33页 |
| ·应力场的计算方法 | 第33-34页 |
| ·等强度固定光源加载模拟分析 | 第34-38页 |
| ·等强度固定光源加载下膜基系统模型 | 第34-35页 |
| ·求解步骤 | 第35-36页 |
| ·结果及分析 | 第36-38页 |
| ·高斯型固定光源加载模拟计算 | 第38-43页 |
| ·高斯函数分布的热源模型 | 第38-39页 |
| ·高斯型固定光源加载下膜基系统的温度场 | 第39-41页 |
| ·高斯型固定光源加载下膜基系统的应力场 | 第41-43页 |
| ·等强度移动光源加载下温度场及应力场的模拟分析 | 第43-50页 |
| ·移动等强度光源加载下膜基系统模拟模型 | 第44页 |
| ·等强度移动光源加载下膜基系统中温度场 | 第44-47页 |
| ·等强度移动光源加载下膜基系统中的应力场 | 第47-50页 |
| ·高斯移动激光下的温度场及应力场的模拟分析 | 第50-56页 |
| ·激光加载参数 | 第50-51页 |
| ·高斯型移动光源加载下膜基系统的温度场 | 第51-52页 |
| ·高斯型移动光源加载下膜基系统的应力场 | 第52-56页 |
| 第四章 断裂分析 | 第56-66页 |
| ·基本断裂理论介绍 | 第56-61页 |
| ·三种断裂方式 | 第56-57页 |
| ·Griffith理论 | 第57-58页 |
| ·线弹性断裂力学理论 | 第58-59页 |
| ·弹塑性断裂力学 | 第59-61页 |
| ·断裂模拟分析 | 第61-66页 |
| ·计算条件 | 第61页 |
| ·接触及断裂分析 | 第61-66页 |
| 第五章 激光划痕法诱导应力场的实验分析 | 第66-70页 |
| ·实验目的 | 第66页 |
| ·实验设备及实验材料 | 第66-67页 |
| ·实验设备 | 第66-67页 |
| ·检测设备 | 第67页 |
| ·实验材料 | 第67页 |
| ·实验方法及过程 | 第67-70页 |
| 第六章 总结与展望 | 第70-76页 |
| ·结论 | 第70-71页 |
| ·展望 | 第71-76页 |
| 致谢 | 第76-78页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第78页 |
